Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293586572 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MJB-3 ist ein automatisierter Maskenausrichter, der für Lithographieverfahren in der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie weit verbreitet ist. Das Gerät ist mit einer optischen und einer mechanischen Ausrüstung ausgestattet, die eine präzise Maskenausrichtung und Overlay-Registrierung ermöglicht und eine hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit für die Chargenverarbeitung gewährleistet. Der Aligner kombiniert ein optisches System mit einer motorisch angetriebenen x-y-Stufe, um die Maske relativ zum Wafer zu positionieren. Die optische Ausrichtungseinheit überwacht und erkennt während des Ausrichtvorgangs eine Fehlausrichtung von Wafer und Maske und kann die Maske automatisch verschieben, um eine Fehlausrichtung zu entfernen. MICROTEC MJB3 ist auf eine Wiederholbarkeit von 0,5 μ m oder mehr ausgelegt. KARL RUß MJB 3 verfügt über eine automatisierte Lademaschine, mit der ein einzelner Bediener mehrere Masken halbautomatisch laden kann. Die Masken können nacheinander oder parallel geladen werden. Der Aligner kann auch die Genauigkeit des Ausrichtvorganges dynamisch verbessern, indem er Dual-Laser verwendet und die durch Substratdickenänderung oder andere Faktoren während des Beladungsvorganges verursachte Fehlausrichtung misst. MJB 3 verfügt über eine automatisierte Maskeninspektion, mit der Fehler erkannt werden können, bevor die Masken auf den Wafer kopiert werden. KARL RUß MJB-3 bietet eine Auswahl an optischen oder nicht-optischen Belichtungsquellen, die Flexibilität im Belichtungsprozess ermöglichen. Es bietet auch verschiedene Linsenoptionen für kundenspezifische Belichtungsanforderungen. Das Gerät ist in der Lage, mit vielen Substraten wie Quarz, Einkristall-Silizium und Photoresists zu arbeiten. KARL RUß/MICROTEC MJB 3 kommt mit Software zur Steuerung der Ausrichtoperationen und Belichtungseinstellungen. Die Software beinhaltet eine manuelle Ausrichtung und einen Simulationsmodus zur Abschätzung der Überlappungen zwischen Maske und Substrat. Die Software ermöglicht auch die Stapelverarbeitung und Bilderfassung von Waferausrichtungsergebnissen für Rückverfolgbarkeitsdatensätze. MICROTEC MJB 3 ist hochkompatibel mit anderen Halbleiterherstellungsmaschinen, wie Laserscannern und Ätzern. Durch diese Ausgestaltung können mehrere Wafer gleichzeitig bearbeitet werden. Das Gerät bietet auch Möglichkeiten wie die Verlängerung der Belichtungszeit oder wählbare z-Koordinaten auf jeder Belichtung, was bei der Optimierung des Belichtungsprozesses von Vorteil sein kann. Insgesamt verfügt KARL RUß MJB 3 über eine Reihe von Merkmalen, die es zu einer idealen Wahl für Lithographieverfahren in der Halbleiter- und Mikroelektronik machen. Es wurde entwickelt, um eine hohe Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Geschwindigkeit sowie Flexibilität in seinen Belichtungsprozessen zu bieten. Die Vorrichtung ist auch in der Lage, mehrere Substrate zu handhaben und ist sehr kompatibel mit anderen Fertigungsmaschinen. MJB 3 ist eine ausgezeichnete Wahl für einen Maskenausrichter für Präzision und kostengünstige Lithographie.