Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293590392 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MJB-3 ist ein spezieller Maske Aligner, der speziell für die Produktions-Photolithographie entwickelt wurde. In der Photolithographie wird ein feines Muster von einer Photomaske auf einen Siliziumwafer übertragen, indem es ultraviolettem Licht ausgesetzt wird, was eine äußerst genaue Platzierung von Geräten auf einem Wafer bietet. MICROTEC MJB3 Maske Aligner bietet eine sehr hohe Genauigkeitsausrichtung mit einer Positioniergenauigkeit von ± 0,3 μ m und Wiederholbarkeit von ± 0,2 μ m. KARL RUß MJB 3 aligner bietet zwei unabhängige Ausrichtsysteme. Erstens eine Mikroskop-Ausrichteinrichtung, die aus einer hochauflösenden digitalen CCD-Kamera (1280 x 1024, 5,5 μ m Tonhöhe) mit einer Vergrößerung von 4x - 64x und einer Ausrichtungsgenauigkeit von 0,06 µm pro Pixel besteht. Das zweite Ausrichtsystem ist eine Schritteinheit zur Grobausrichtung, die aus einer hochauflösenden Stufe (1.800 x 1.800 Pitch) mit einer Positioniergenauigkeit von 0,4 µm zur Grobausrichtung besteht. KARL RUß MJB-3 aligner ist mit einer hochinnovativen Bildverarbeitungsmaschine ausgestattet, die ein unvergleichliches Blickfeld bietet. Es ermöglicht eine großflächige Belichtung mit einem Sichtfeld von bis zu 200 mm bei 26,6 µm pro Pixelauflösung. Dies wird durch den kombinierten Einsatz eines langen Arbeitsabstandes 50mm 2.5X Zoomobjektiv und zwei digitalen Schaltobjektiven erreicht. Das bildgebende Werkzeug ist außerdem mit einem Lichtfeld-bildgebenden Element ausgestattet, das einen erweiterten dynamischen Arbeitsbereich und eine erweiterte Empfindlichkeit ermöglicht. MJB3 aligner bietet eine breite Palette fortschrittlicher Belichtungsparameter, wie eine maximale Belichtungsfeldgröße von 8 „x 8“, einen Expositionsdosisbereich von 0,1 - 250 mJ/cm2 und eine Belichtungsgenauigkeit von ± 2%. Es bietet auch eine Vielzahl von Belichtungstypen, wie einstrahlige, mehrstrahlige und programmierbare Strahlbelichtungen, für die maximale Flexibilität. Schließlich ist MICROTEC MJB 3 Maske Aligner hoch integriert, um höchste Leistung, kontrollierbaren Durchsatz und unübertroffene Genauigkeit zu bieten. Es bietet ein beheiztes Vakuumfutter für die Leistung und ist in der Lage, bis zu fünf Wafer in einem einzigen Lauf zu verarbeiten, um eine Produktionsumgebung mit hohem Durchsatz zu gewährleisten. Darüber hinaus ist KARL RUß MJB3 mit vielen Softwarepaketen kompatibel und kann als eigenständiges Modell oder als Teil einer vollautomatisierten Produktionslinie eingesetzt werden.