Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293649571 zu verkaufen

ID: 293649571
Mask aligner.
KARL RUß/MICROTEC MJB-3 ist ein automatisierter Photolithographie-Masken-Aligner von MICROTEC mit Sitz in Deutschland. Es wird von der Halbleiter- und Mikroelektronik-Industrie für die schnelle Mikrofabrikation, wie Photolithographie, komplexer Bauteile verwendet. MICROTEC MJB3 ist in der Lage, präzise bis in den Nanometerbereich zu mustern, mit 1 μ m Auflösungsgenauigkeit. Durch die Verwendung seiner Vier-Achsen-Gimbal-montierten Bühne ist es schneller und viel effizienter als andere Masken-Aligner-Methoden. Diese kardanmontierte Bühne ermöglicht eine hervorragende Stabilität und Genauigkeit der x-Achse, y-Achse und z-Achse Bewegungen. KARL RUß MJB 3 verwendet auch duale Ausrichtungstechniken, die einen hohen Durchsatz und überlegene Genauigkeit bieten. Um die Maske zu positionieren, verwendet MICROTEC MJB-3 eine vierstufige Autofokussierung. Dieses System ist in der Lage, die Maske in allen drei Achsen mit 1 μ m Auflösungsgenauigkeit zu lokalisieren und genau zu lokalisieren. Es kann auch die Position der Ausrichtmarken auf der Maske erfassen, so dass präzise und gut ausgerichtete Masken. Die Ausrichtmarken auf der Maske werden von einer CCD-Kamera erkannt, die an einem Monitor angebracht ist, so dass der Bediener den Ausrichtvorgang führen und überwachen kann. KARL RUß/MICROTEC MJB3 verwendet eine Auswahl an UV-, i-linien- und Deep-UV-Lichtquellen. Dies ermöglicht eine Vielzahl von lithographischen Prozessen, darunter topographische Overlay, Hintergrundbeleuchtung, Kontakt und andere Prozesse. Die Kombinationen der verschiedenen Lichtquellen und der verfügbaren Ausrichtungstechniken geben KARL RUß/MICROTEC MJB 3 die Möglichkeit, flexible und effiziente Photolithographielösungen bereitzustellen. Um den Anwender vor Strahlenbelastung zu schützen, sind in MJB 3 mehrere Sicherheitssysteme enthalten. Dazu gehört eine anpassbare Verriegelungseinheit, die den Standort des Bedieners überwacht; eine photostabilisierende Abschirmung, die UV-Wellenlängen herausfiltert; und eine Sicherheitsmaschine, die das Niveau der zugeführten UV überwacht. Abschließend ist MJB-3 ein automatisierter Photolithographie-Masken-Aligner, der der Industrie einen hohen Durchsatz und eine genaue Methode der Photolithographie bietet. Die Kombination aus der Wahl der Lichtquellen und der vierachsigen kardanmontierten Bühne ermöglicht es KARL RUß/MICROTEC MJB 3, bis in den Nanometerbereich zu mustern und eine Genauigkeit von 1 μ m zu erreichen. Darüber hinaus ist es auch in der Lage, hervorragende Sicherheitssysteme bereitzustellen, die den Benutzer vor Strahlenbelastung schützen.
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