Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293668771 zu verkaufen

ID: 293668771
Mask aligner.
KARL RUß/MICROTEC MJB-3 ist ein Präzisionsmasken-Aligner, der in der Photolithographie für viele Bereiche der Mikroelektronik eingesetzt wird. Es erzeugt ein mikroskopisches Muster auf einem Photolack, indem es Licht durch ein Retikel oder eine Fotomaske und auf den Photolack projiziert. MICROTEC MJB3 ist ein hochpräziser digitaler Maskenausrichter mit einstellbarer Ausrichtgenauigkeit und niedrigsten Vibrationsstufen über einen weiten Temperaturbereich. Zu seinen Besonderheiten gehört die Fähigkeit, aufgrund seines stabilen Strukturdesigns und innovativ konzipierter und integrierter Bewegungssteuerungs- und Ausrichtungssysteme eine Ausrichtgenauigkeit von bis zu 0,5 Mikrometern zu erzielen. KARL RUß MJB 3 ist auch in der Lage, seitliche Bewegungen im Bereich von 0,005mm oder 0,0001 "mit der höchsten Wiederholbarkeit zu erreichen. Das flexible Kollimationssystem ist ein weiteres Merkmal, das eine einfache Manipulation der Kollimation ermöglicht, um optisch gegen optisch positioniertes Interferenzfilter durch ein elektronisch gesteuertes Filter zu ersetzen und alternative Kollimationen zu nutzen. Die Analysesteuerungstechnik bietet eine effiziente Möglichkeit, zwei bis vier verschiedene Wellenlängenspektren während des Belichtungsprozesses zu analysieren, zu visualisieren und zu steuern. KARL RUß/MICROTEC MJB3 verfügt auch über eine automatische Gesichtserkennung und Waferdrehung, die eine Ausrichtungsgenauigkeit in einer x-y-z-Ebene ermöglicht. Darüber hinaus nutzt MJB 3 ein reduziertes Gasabschirmsystem zur kostengünstigen Herstellung kleinerer, dichterer Mikrostrukturen. Schließlich bietet es eine benutzerfreundliche CIM-Software-Schnittstelle, die für das effiziente Einrichten und Joggen der Reticle-Maske verwendet wird. Zusammen ist MJB-3 ein fortschrittlicher Maskenausrichter, der alle notwendigen Funktionen bietet, um hochpräzise Muster auf Fotoresists zu erzeugen.
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