Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293685973 zu verkaufen

ID: 293685973
Mask aligner Chuck: Substrate size, 2"-3" Mask holders, 3.5"-4".
KARL RUß/MICROTEC MJB-3 ist ein hochpräziser Maskenausrichter zur Herstellung von mikroelektronischen Dünnschichtschaltungen. Es eignet sich für Anwendungen von Kontaktmasken bis hin zur hochauflösenden Strukturierung dünner Filme auf Substraten. MICROTEC MJB3 precision aligner wurde entwickelt, um Masken in Anwesenheit von hochfrequenten elektromagnetischen Strahlungsfeldern auszurichten, wie sie in MIL-STD-882, Automated Pattern Transfer Systems verwendet werden. KARL RUß MJB 3 ist mit einer elektromagnetischen Strahlungsabschirmung & Kammer, einer elektromagnetischen Ausrichteinrichtung, einem ausgeklügelten Bewegungssteuerungssystem, einer X-Y-Z-Bewegungsstufe und einer optischen Ausrichteinrichtung im Vakuum ausgestattet. Die elektromagnetische Strahlungsabschirmung & Kammer wird mit fortschrittlicher Werkstofftechnologie realisiert und ermöglicht durch ihre Konfiguration die Abschirmung intensiver Strahlungsfelder. Die elektromagnetische Ausrichtungsmaschine verwendet ein elektromagnetisches Feld, um die Maske mit dem Substrat auszurichten. Dieses Werkzeug enthält auch einen automatischen Einstellmechanismus, um sicherzustellen, dass die maskierte Folie mit hoher Genauigkeit genau auf dem Substrat platziert wird. Die ausgeklügelte Bewegungssteuerung sorgt für eine genaue Registrierung der Maske und des Substrats. Seine Bestandteile schließen eine Servoschleife der proportionalen Integrationsableitung (PID), einen hoch entwickelten programmierbaren Digitalsignalverarbeitungsverarbeiter und einen Hochleistungsstaatsmaschinenkontrolleur ein. Die X-, Y- und Z-Bewegungsstufen werden verwendet, um Maske, Substrat und Optik fein kontrolliert zu bewegen, um eine passende Registrierung von Maske und Substrat für eine genaue Ausrichtung zu gewährleisten. Das optische In-Vakuum-Ausrichtungsmodell von KARL RUß/MICROTEC MJB 3 nutzt Laserbeugungsspektroskopie (LDS) und reflektierende Beleuchtung, um nahezu mikroskopische Positionsaffinitäten zwischen Substrat- und Maskenregistrierungspunkten zu erkennen. Die LDS-Ausrüstung basiert auf optischen Messungen und hat eine hohe Genauigkeit sowie hohe Geschwindigkeit. Die reflektierende Beleuchtung füllt die Lücke zwischen einer Standardkamera und dem LDS-System und ermöglicht sowohl eine hochauflösende Bildgebung als auch die Erkennung von Merkmalen auf Subpixelebene. MICROTEC MJB 3 Präzisionsausrichter ist für den Einsatz in Reinraumumgebungen konzipiert und kann mit größter Sicherheit betrieben werden, wenn Vorsichtsmaßnahmen getroffen werden und das Gerät in Übereinstimmung mit den Anweisungen verwendet wird. KARL RUß MJB3 mask aligner ist eine zuverlässige und hochgenaue Maschine zur Herstellung von mikroelektronischen Dünnschichtschaltungen.
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