Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293705835 zu verkaufen

ID: 293705835
Mask aligner.
KARL RUß/MICROTEC MJB-3 Maske Aligner ist ein zuverlässiges und präzises Lithographiewerkzeug für die Halbleiterfertigung. Es ist in der Lage, Masken mit hoher optischer und mechanischer Genauigkeit auszurichten und zu belichten, wodurch konsistente und wiederholbare Ergebnisse mit einer Wiederholbarkeit ohne Ausrichtung gewährleistet werden. MICROTEC MJB3 ist ein halbautonomes Gerät, das mehrere Benutzeroberflächen umfasst und Live-Kontrolle und Manipulation einfach macht. Es unterstützt Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm (oder 6-Zoll-Wafern) und ist mit einer Reihe von Maskenrahmen und mehreren Retikelgrößen kompatibel, einschließlich Retikelhalter mit eingebauten Staplern. KARL RUß MJB 3 hat drei Hauptkomponenten - die Beleuchtung, das optische System und die Substrathandhabungseinheit. Seine Beleuchtungsmaschine ist darauf ausgelegt, eine gleichmäßige und hocheffiziente Beleuchtung der Maske zu erzeugen, um Belichtungsgeräusche und Inkonsistenzen zu reduzieren, wodurch eine schnelle und einfache Ausrichtung der Maske auf dem Wafer ermöglicht wird. Es verwendet ein Multifeldprojektionswerkzeug, das die Auflösung und Genauigkeit der Belichtung erhöht. Die Beleuchtungsoptik wird von der Lichtquelle und dem Maskenrahmen auf die Substratstufe übertragen, wo dann die Strahlung durch die Maske auf das Substrat projiziert wird. Die optischen Systeme von MJB3 bieten hohe Präzision und Zuverlässigkeit. Es ist mit einer motorgesteuerten Zoom-, Ausrichtungs- und Retikelhalter-Optik ausgestattet, die die Positionierung, Ausrichtung und Maske-zu-Wafer-Registrierung erleichtert, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. Seine fortschrittlichen spektroskopischen Fähigkeiten ermöglichen auch eine genaue Bestimmung der Eigenschaften des Lichtstroms, wie seine Intensität und spektrale Zusammensetzung. Das Substrathandhabungsmodell von KARL RUß MJB-3 verfügt über einen flachen Substrattisch, der drehbar und verschiebbar ist und eine breite Palette von Wafergrößen und -typen ermöglicht. Es kann rechteckige und runde Substrate akzeptieren, so dass es sich an die Bedürfnisse des Produktionsprozesses anpassen kann. Der flache Tisch sorgt auch für konsistente Beschichtungsleistung und leichte Substratbelastung. KARL RUß/MICROTEC MJB 3 verfügt zudem über fünf Vakuumköpfe, die eine genaue Steuerung und Manipulation der Maskenausrichteinrichtungen sowie automatisiertes Be- und Entladen von Wafern ermöglichen. Dank seiner fortschrittlichen Optik und mechanischen Konstruktion ist MJB 3 Mask Aligner eines der besten Systeme für eine effiziente und zuverlässige Herstellung von Halbleitern. Seine hohe Auflösung und Genauigkeit machen es zu einer zuverlässigen und kostengünstigen Lösung für Lithographieanwendungen.
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