Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293743798 zu verkaufen
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KARL RUß/MICROTEC MJB-3 mask aligner ist eine präzise optomechanische Maschine für die photolithographische Verarbeitung. Es wird hauptsächlich von der Mikroelektronik- und Halbleiterindustrie zur Herstellung von Submikron-Auflösungsvorrichtungen und -Schaltungen verwendet. MICROTEC MJB3 verwendet eine kontinuierliche Laserquelle sowie eine Projektions- und Abbildungsanlage, um Muster von einer harten Photomaske auf ein Wafer-Oberflächensubstrat zu übertragen. Das System ist mit zwei Opferstufen ausgestattet, die eine stabile, ebene Positioniereinheit zur schonenden Ausrichtung von Maske und Substrat bieten. Unterstützt wird diese Ausrichtung durch eine hochpräzise, automatisierte X-Y-Rasterscanmaschine und eine Z-Achsen-Tiefensteuerung mit Echtzeit-Feedback und einer Auflösung von 1,3 Nanometern. KARL RUß MJB 3 hat eine Beleuchtungslinse mit einer numerischen Apertur (NA) von 0,55, die je nach Konfiguration 2 "oder 4" oder 6 "oder 8" oder sogar 10 "Masken beleuchten kann. Darüber hinaus wurde MICROTEC MJB-3 entwickelt und entwickelt, um einen zuverlässigen Betrieb und eine hohe Auflösungswiederholbarkeit bei minimaler Rüstzeit zu gewährleisten. Es ist mit einer verstellbaren Vakuumklemme ausgestattet, die eine verstellbare Abstützung für den Wafer bietet. MJB-3 verwendet auch einen Linien- und Kantenkompensator zur präzisen Ausrichtung des Kantenprofils. Dieser Kompensator besteht aus einem Satz von Abstandselementen und einer Antriebseinheit, die eine feine Landsteuerung ermöglicht. In Bezug auf Sicherheit und Kontrolle ist KARL RUß MJB 3 mit zwei Selbstverriegelungsmechanismen ausgestattet. Die erste ist eine elektromagnetische Verriegelung, die verhindert, dass das Werkzeug beim Öffnen der Kammer und der Autofokusplatte arbeitet. Die zweite ist eine schlüsselbetätigte Verriegelung, die unbefugtes Personal daran hindert, die Anlage zu betreiben. MJB 3 ist ein leistungsstarkes und präzises Werkzeug für die photolithographische Verarbeitung. Der modulare Aufbau und das präzise Steuermodell machen es zu einem effizienten und zuverlässigen Gerät für schnelle und genaue Ergebnisse, auch mit anspruchsvollen Masken und Substraten. Darüber hinaus gewährleisten die Selbstverriegelungsmechanismen einen sicheren Betrieb sowie eine zuverlässige Plattform für präzise Photolithographie.
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