Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293751566 zu verkaufen
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KARL RUß/MICROTEC MJB-3 ist ein vollautomatisierter, fähiger Maskenausrichter, der in der Halbleiterindustrie für Photomaskenerzeugungs- und Waferbelichtungsprozesse eingesetzt wird. Seine Hauptfunktion ist die genaue Positionierung und Ausrichtung einer Photomaske (die Muster enthält) auf der Waferoberfläche, die im Belichtungsprozess verwendet werden soll. Es wurde entwickelt, um schnelle und wiederholbare Maskenausrichtungsoperationen mit ausgezeichneter Positioniergenauigkeit bereitzustellen. MICROTEC MJB3 verfügt über zwei unabhängige lineare Stufen. Diese X- und Y-Stufen werden beide mit Direktantriebsmotoren angetrieben, die eine sehr präzise, hochauflösende (mit einer Genauigkeit von bis zu 1 Mikron) und wiederholbare Ausrichtungsfähigkeit bieten. Es hat auch Laser, die verwendet werden, um die Ausrichtung der Maske auf den Wafer auf Submikron-Genauigkeit zu messen. Maske und Wafer können unabhängig und präzise auf der X- und Y-Linearstufe bewegt werden. Darüber hinaus nutzt KARL RUß MJB 3 auch einen Wafer-Handler und eine Masken-Handler-Steuerung, um eine einfache Handhabung der Optik zu ermöglichen. Beide weisen einzigartige Ausrichtungssysteme auf, wobei der Maskenhandler Linsen aufweist, die die Ausrichtungsgenauigkeit des Maskenmusters gewährleisten, und der Wafer-Handler ein eigenes unabhängiges Zentriersystem aufweist. Es ist auch mit Vision-Systemen ausgestattet, die helfen, den Wafer und die Maske zu lokalisieren und zu manipulieren. KARL RUß/MICROTEC MJB 3 Maske Aligner enthält einen programmierbaren Logik-Controller (SPS), der die Automatisierung und Verarbeitung von Belichtungsprogrammen erleichtern kann. Es verfügt auch über einen Prozessmonitor, der einfachen Zugriff auf Belichtungsparameter und Daten bietet. Es ermöglicht auch die Speicherung mehrerer Masken- und Waferpositionen sowie Belichtungsparameter. KARL RUß/MICROTEC MJB 3 ist zuverlässig und einfach zu bedienen, und seine wiederholbare Maskenausrichtung und Genauigkeit macht es zu einem bevorzugten Werkzeug für Photomaskenerzeugung und Waferbelichtungsprozesse. Es ist in der Lage, verschiedene Arten von Photomasken zu handhaben, und seine Komponenten können an verschiedene Waferbelichtungsanwendungen angepasst werden. Sein robustes Design sorgt dafür, dass es höchsten Qualitätsstandards entspricht und ist damit der ideale Maskenausrichter für jedes Photomasken- oder Waferbelichtungsverfahren.
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