Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293766399 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MJB-3 ist ein hochpräziser Maskenausrichter, der im Photolithographieverfahren zur Herstellung von mikroelektronischen und optoelektronischen Bauelementen eingesetzt wird. MICROTEC MJB3 bietet eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit für die Ausrichtung anspruchsvoller Photomasken auf das Substrat. Dies ermöglicht die perfekte Übertragung von strukturierten Schichten auf die Substrate. KARL RUß MJB 3 besteht aus einem Optikmodul, einem Präzisions-Mechanik-Ausrichtungsmodul und einem Stufensteuerungsmodul, die alle in einer universellen Plattform zusammengefasst sind. Das Optikmodul enthält einen unendlich korrigierten Leuchtkörper vom Typ Koehler, der einen parallelen beleuchteten Lichtstrahlenkegel erzeugt. Das lichtabbildende System besteht aus strahlteilenden, brechenden und motorisierten Vergrößerungselementen. Das strahlteilende Element trennt das Bildfeld in vier Teilfelder, die auf die rechten und linken Linsenelemente des Optikmoduls fokussiert sind, um die gleichzeitige Ausrichtung mehrerer Photomasken zu erleichtern. Das feinmechanische Ausrichtungsmodul ist mit motorisierten Elementen ausgestattet, die eine äußerst genaue und wiederholbare Positionierung der Masken ermöglichen. Das System führt die Bewegung des Maskenrahmens entlang der X- und Y-Achse mit linearen Encodern und einem Scan-Kopf zur Ausrichtung. Sie weist ferner einen kreuzpolarisierenden Strahlteiler für die hochgenaue Positionserfassung und einen Hublängensensor für die korrekte Positionierung der Masken auf. Das Stufensteuerungsmodul besteht aus dreistufigen Elementen. Die beiden Hauptstufen ermöglichen eine präzise Abtastung der Photomasken, während die einstellbare Stufe eine präzise Bewegung der Masken auf der X- und Y-Achse ermöglicht. Zu den Hauptstufen gehören zwei Präzisionspositioniermotoren für die X- und Y-Abtastachse sowie eine Drehachse für eine schnelle und zuverlässige Drehung der Proben. Die verstellbare Stufe weist einen Linearcodierer zur Messung der Retikelverschiebung auf. MICROTEC MJB 3 umfasst Echtzeit-Bildgebung, integrierte Software und eine Vielzahl von kompatiblen Zubehörteilen. Das System verfügt auch über eine Selbsttestfunktion, die eine Diagnoseprüfung aller Module und Komponenten durchführt. All diese Eigenschaften machen KARL RUß MJB3 zu einem leistungsstarken, vielseitigen Maskenausrichter mit ausgezeichneter Stabilität und Genauigkeit.