Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293797042 zu verkaufen
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ID: 293797042
Mask aligner
Topside alignment
Ocular: 10x
Objective lenses: 10x, 20x
Mercury lamp.
KARL RUß/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner ist eine Ausricht- und Belichtungsanlage mit voller Kapazität, die speziell für die hochauflösende Kontaktilithographie auf 4 und 6 Zoll Substraten entwickelt wurde. Mit einem In-situ-Fokus-Monitor, Hochgeschwindigkeits-Autofokus, integrierter motorisierter Z-Stufe und hochgenauer Waferausrichtung bietet MICROTEC MJB3 beispiellose Präzision bei der Herstellung feiner Mikrostrukturen. Die Optik ist zudem äußerst robust und bietet eine hervorragende Linearität, einen hohen Kontrast und ein scharfes Bild. Um das System genau zu steuern, ist KARL RUß MJB 3 mit einer optimierten numerisch-optischen Steuereinheit für wiederholbare hochpräzise Ausrichtung, Fokussierung, Belichtung und Stufenschritte ausgestattet. Die Maschine lässt sich einfach mit der intuitiven Software MICROTEC MJB 3 verbinden, die entwickelt wurde, um komplexe lithographische Prozesse zu vereinfachen. Es bietet benutzerfreundliche Einstellungen für Fahrparameter, Objektgrößenauswahl und Maschinenkonfiguration, so dass Anwender schnell und einfach zuverlässige Prozesse erstellen können. Die Software bietet auch eine umfassende Protokollierung von Einstellungen und Ergebnissen für detaillierte Werkzeugleistungsanalysen. Um die Belichtung für jede Anwendung zu optimieren, umfasst das Asset eine Vielzahl von Beleuchtungseinstellungen und eine variable numerische Blende. Die variable numerische Apertur sorgt dafür, dass je nach Strukturgröße und Auflösungsanforderungen die erforderliche Auflösung erreicht wird. Die reflexions- und absorptionsoptiken ermöglichen es dem Anwender auch, das Seitenverhältnis bis zu 8 Zoll zu variieren. Dies gewährleistet eine möglichst hohe Auflösung durch Optimierung des auf die Maske abzustimmenden Design-Seitenverhältnisses. Für das Be- und Entladen von Wafern bietet MJB 3 Model entweder manuelle Handhabung oder einen integrierten Kassettenlader mit verstellbarem Halter für bis zu 12 Wafer. Der Kassettenlader sorgt für einen Regeltemperaturzustand von bis zu 10 ° C. Darüber hinaus können die Neigungs- und Drehfunktionen zur Einstellung der Ausrichtung des Wafers für jeden Schuss verwendet werden. Insgesamt bietet MJB-3 Mask Aligner präzise lithographische Muster mit wiederholbarer Genauigkeit und hoher Auflösung. Seine präzise Optik, fortschrittliche Software, optimierte Ausrichtungs- und Belichtungseinstellungen sowie verbesserte Be- und Entladeeinrichtungen machen es zur idealen Wahl für Kontaktierungslithographie-Prozesse in der Branche.
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