Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #76306 zu verkaufen
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ID: 76306
Aligner
Topside
M400 Normalfield Microscope with revolving objective turret and trinocular microscope head
Objectives: LEITZ NPL 5x, 10x, and 20x
Oculars: 10x Eyepieces
Mercury (Hg) lamp: 350 W
Exposure optics: UV400
Optical sensor: CH1: 365nm, CH2: 405nm
Timer: Digital
CIC Power supply: CIC 1000 Constant intensity controller
Standard mask holder
Wafer alignment chuck.
KARL RUß/MICROTEC MJB-3 ist ein Masken-Aligner, auch als Stepper bekannt, der zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist ein Lithographiewerkzeug, das gut geeignet ist, eine Vielzahl von Komponenten wie Transistoren, Dioden, Widerstände, Speicherzellen und Kondensatoren zu schaffen. MICROTEC MJB3 arbeitet durch Projizieren eines Lichtmusters oder einer Maske auf die Oberfläche eines Halbleitermaterials. Der Maskenausrichter verwendet dann ein Paar präzisionsgesteuerter x- und y- beweglicher Stufen, um das Muster präzise über der Halbleiterscheibe auszurichten. Dies geschieht durch einen rechnergesteuerten Schrittmechanismus, der die x- und y-Achsbewegung der Maske und der Halbleiterscheibe synchronisiert. Darüber hinaus verfügt KARL RUß MJB 3 über eine optische Ausrichteinrichtung, die die genaue Platzierung des Musters gewährleistet. MJB-3 verwendet eine hochmoderne Mikrolithographie, die als Deep Reactive Ion Etching (DRIE) bekannt ist. Diese Technik verwendet eine Kombination aus reaktivem Ionenstrahlätzen und tiefer UV-Lithographie, um Muster mit hoher Präzision genau in die Oberfläche eines Halbleiterwafers einzuätzen. KARL RUß MJB3 verfügt zudem über ein fortschrittliches optisches Ausrichtsystem. Dadurch wird sichergestellt, dass die Maske auch bis in den Nanometermaßstab genau über die Halbleiterscheibe gelegt wird. Darüber hinaus trägt diese Ausrichteinheit auch dazu bei, eventuell auftretende Verzerrungen während des Ätzvorgangs zu reduzieren. Darüber hinaus nutzt KARL RUß/MICROTEC MJB 3 eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Diese tragen dazu bei, dass das Werkzeug sicher betrieben wird, was sowohl den Bediener als auch den Wafer vor möglichen Beschädigungen schützt. Weitere Merkmale sind eine Anti-Kontamination-Maschine, die dazu beiträgt, Staub und Partikel von der Verschmutzung der Ausrüstung und der Halbleiterscheiben zu verhindern. Insgesamt ist KARL RUß/MICROTEC MJB 3 ein fortschrittlicher und hocheffizienter Maskenausrichter, der sich gut für die Herstellung einer Vielzahl verschiedener Bauelemente für den Einsatz in Halbleiterbauelementen eignet. Die Kombination aus computergesteuerter Präzisionsbewegung, optischer Ausrichtung und fortschrittlicher DRIE-Mikrolithographie macht es zu einem unschätzbaren Werkzeug zur Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente.
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