Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9035395 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner ist ein kompaktes, hochgenaues, vollautomatisches Ausrichtgerät auf Mikroniveau, das speziell für die Herstellung von Halbleiterbauelementen mit hochauflösenden Photoresistprozessen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine Neuausrichtungsgenauigkeit von 3 µm und eine Überlagerung von 1-2 µm auf einer Fläche von 4 „x4“ durchzuführen. Das System verwendet eine erweiterte Laser-Autofokus-Funktion, um die genaue Position des Wafers und der Linse vor jedem Ausrichtungszyklus zu erfassen und die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Wafer-Ausrichtungspositionierung zu gewährleisten. MICROTEC MJB3 Mask Aligner wurde entwickelt, um die maximalen Auflösungsanforderungen der Deep-UV-, E-Beam und Ionenstrahl-Lithographie zu erfüllen. KARL RUß MJB 3 aligner nutzt Schrittmotor und optische Hebel angetrieben Schritt-und-Wiederholung-Montage, die Unterstützung für Zoomen und Spiegelung beinhaltet. Die Ausrichtung erleichtert schnellere Bearbeitungszeiten und bereitet einen höheren Durchsatz vor, da sie mit einer motorisierten Wafer-Indexiereinheit für einen bequemen Wafer-Flip oder Substrataustausch ausgestattet ist. Die Steuerung des MICROTEC MJB 3 mask aligner besteht aus einem integrierten Bedienfeld zur einfachen Bedienung und Beobachtung der Maschine und einem IBM-kompatiblen 386 PC zur Datenerfassung und -steuerung über eine grafische Benutzeroberfläche. PC und Panel sind fest miteinander verbunden und mit einem berührungsempfindlichen LCD-Monitor und einem Druckknopf-Auswahlwerkzeug verbunden. Das Asset wird im Stand-Alone-Modus betrieben und kann auch mit einem größeren Prozesssteuerungsmodell integriert werden. KARL RUß MJB 3 Maske Aligner verwendet eine zweiachsige Mikrometer-Stufensteuerung und Galvanometer-gesteuerte Lasersteuerung für Ausrichtungsgenauigkeit und Genauigkeit. Das Gerät verwendet vertikale und horizontale Vakuumrahmen zum Maskieren, Maskenklemmen und Substrathalten sowie einen modularen Substrathalter und Maskenhalter mit einstellbarer Höhe und Kraftklemmen. Die Bedienersicherheit ist in die Konstruktion des MICROTEC MJB 3-Systems aufgrund seiner Schutzabschirmung, Schlüsselverriegelungen und Sicherheitsverriegelungen integriert. Das Gerät ist für einen effizienten Energieverbrauch mit einer maximalen Nennleistung von 700 Watt ausgelegt. Der Maschinenabdruck von 95cm x 65cm ist ideal für jedes Halbleiterherstellungslabor, und seine zahlreichen integrierten Funktionen machen es zu einem schlanken und benutzerfreundlichen Werkzeug für genaue und wiederholbare Lithographie.