Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9248455 zu verkaufen

ID: 9248455
Mask aligner.
KARL RUß/MICROTEC MJB-3 ist ein optischer Maskenausrichter, der für eine präzise, großflächige Ausrichtung verschiedener Materialien ausgelegt ist. Es wird häufig für Anwendungen von der Photolithographie bis zur Mikrobearbeitung sowie zur Herstellung von strukturierten Substraten verwendet. Dieses hochgenaue Gerät verwendet eine anspruchsvolle optische Ausrüstung, eine automatische Fokusregelung und eine manuelle Ausrichtung mit variablem Druck. MICROTEC MJB3 verfügt über zwei Hauptteile: einen Masken-Bot, der die Masken über das Substrat hält und präzise bewegt, und einen Mikromanipulator, der das Masken-Bot verwendet, um das Substrat genau zu positionieren. Der Masken-Bot enthält präzise XYZ-Motoren, die zwei Stufen bewegen: eine für die Maskenausrichtung und die andere für die Substratausrichtung. Die relative Ausrichtungsgenauigkeit von KARL RUß MJB 3 beträgt 0,2 µm. Darüber hinaus ist KARL RUß/MICROTEC MJB3 in der Lage, hochauflösende, einschichtige Ausrichtung bis auf 1,2 µm. Es bietet auch die Wahl zwischen Einzel- und Doppelmaskenausrichtung, Auflösungen von bis zu 25,4 µm und einer Auswahl zwischen 4, 8 oder 12-Zoll-Masken. Um eine präzise Ausrichtung zu gewährleisten, verfügt KARL RUß MJB3 über ein hochmodernes laserbasiertes Ausrichtsystem im Mikromanipulator. Diese Einheit enthält Optionen für eine Wellenlänge und zwei Wellenlängen (rot/grün). Seine Zwei-Wellenlängen-Maschine ermöglicht eine höhere Genauigkeit bei der Maskenpositionierung, während sein Einzelwellenlängen-Werkzeug am besten mit grünen Filmmasken arbeitet. MICROTEC MJB 3 verfügt zudem über ein ausgeklügeltes Verfahren zur Messung der Maskenausrichtgenauigkeit. Es verwendet spezielle Kontaktmessungen, die das Messen der Differenz zwischen dem Rand der Folienmaske und dem Rand des Substrats bis zu einer Genauigkeit von 0,1 µm umfassen. Diese Vorrichtung weist auch ein Vakuumfutter auf, das einen sicheren Halt des Substrats während der Ausrichtung ermöglicht. Dieses Spannfutter dient zum Schutz des Substrats vor Ruckbewegungen. Weiterhin steht für Substrate, die höhere Klemmkräfte erfordern, eine wählbare Drucksteuerungsmöglichkeit zur Verfügung. Kurz gesagt, MICROTEC MJB 3 ist ein hochgenauer, großflächiger Maskenausrichter, der für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde. Es bietet zuverlässige Ausrichtungspräzision, automatisierte Fokussteuerung, manuelle Ausrichtung mit variablem Druck und Konfigurationen mit mehreren Masken. Dieses Gerät eignet sich ideal für die Massenproduktion von Photolithographie und Mikrobearbeitung sowie für die Herstellung von strukturierten Substraten.
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