Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9257920 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MJB-3 ist ein Masken-Aligner, der für die direkte Elektronenstrahl-Lithographie verwendet wird. Sie besteht aus einer Elektronenkanone, einer Ausrichtstufe, einer Waferstufe und einer Säule. Die Elektronenkanone emittiert einen fokussierten Elektronenstrahl, der präzise genug ist, um Linien und Formen bis zu 10 Nanometer zu erzeugen. Die Ausrichtstufe hält das ausgewählte Retikel mit einer präzisen und wiederholbaren Position relativ zum Wafer fest. Die Stufe kann so optimiert werden, dass sie der Elektronenstrahlstruktur genau und präzise folgt und wiederholbare Belichtungen ermöglicht. Zur Fokussierung und Vergrößerung des Elektronenstrahls auf den Wafer kann der Ausrichtstufe eine Referenzlinse hinzugefügt werden. Die Waferstufe ist, wo das Substrat, Resist und Ausrichtungsziel zur Belichtung gehalten werden. Diese Stufe hat eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit entlang der X- und Y-Achse. Die Stufen können für eine Vielzahl von Wafergrößen konfiguriert werden, mit der Fähigkeit, mehrere Wafer in einer einzigen Sitzung zu scannen. Die Säule enthält eine Reihe von Linsen, Öffnungen und Gateelektroden, die den Elektronenstrahl fokussieren. Diese Komponenten arbeiten zusammen, um Form, Größe und Intensität des Strahls zu optimieren und eine präzise Erfassung von Musterdaten auch in einer dichten Umgebung zu ermöglichen. MICROTEC MJB3 verfügt über ein leistungsfähiges Softwarepaket, das den Aligner steuert und die präzise Bildung komplexer Schichten ermöglicht. Es kann auch mit einer Umgebungskammer konfiguriert werden, die es erlaubt, in Gegenwart von Wasserdampf, Feuchtigkeit und Wärme zu arbeiten. Dadurch kann der Anwender präzisere und wiederholbare Belichtungen vornehmen. Die Kombination aus fortschrittlichem Aligner, genauer Waferstufe und leistungsfähiger Software, machen KARL RUß MJB 3 geeignet für hohen Durchsatz, hochauflösende Produktion von Halbleiterschaltungen und Geräten. Die Kombination von Funktionen macht es auch eine gute Wahl für benutzerdefinierte Musterung und Prototyping von integrierten Schaltungen.