Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9270076 zu verkaufen

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ID: 9270076
Mask aligner.
KARL RUß/MICROTEC MJB-3 ist ein optischer Maskenausrichter für die Photolithographie. Es ist ein vielseitiges, hochpräzises Werkzeug zur Erzeugung ultrafeiner Muster, die für Halbleiterbauelemente in der Mikroelektronikindustrie verwendet werden. MICROTEC MJB3 ist mit einer Brechmaske Ausrichtungsfunktionen gebaut. Er wird von einer piezoelektrischen Stufe angetrieben, die die x-, y- und z-Achsbewegungen bereitstellt. KARL RUß MJB 3 verfügt auch über eine variable Kameraausrüstung, die für kleine und große Skalen Mustertransfers verwendet wird. Dieses System beinhaltet auch eine variable Reduzierung bildgebende Einheit, die ein innovatives Merkmal ist, das eine extrem genaue Positionierung und Vergrößerungen mit einem breiten Spektrum von Mustergrößen ermöglicht. KARL RUß/MICROTEC MJB3 wurde entwickelt, um eine gleichbleibend hohe Genauigkeit und Durchsatz von bis zu 600mm Wafern zu gewährleisten. Es bietet ausgezeichnete Bildstabilität, Auflösung und Bildüberschneidungseigenschaften, die es für aggressive optische Druckanwendungen geeignet machen. MICROTEC MJB-3 hat durch seine patentierte Vertical Feed Through (VFT), eine einstellbare Führungsmaschine, eine fortschrittliche Positionsgenauigkeit erreicht. Der VFT ermöglicht eine wiederholbare Spin-Ausrichtung von Expositionen und bietet eine lückenlose Registrierung, um die Genauigkeit auch nach mehreren Expositionen zu gewährleisten. MJB-3 wird auch mit einem mechanischen automatischen Be- und Entladewerkzeug geliefert, das einen zuverlässigen und wiederholbaren Waferaustausch mit minimalem Bedienungsfehler ermöglicht. Diese Anlage ist automatisiert und kann Wafergrößen von 25mm bis 600mm mit einer wiederholten Registriergenauigkeit von 5 Mikrometern oder weniger verarbeiten. Die hochpräzise fotografische Optik erfordert keine manuelle Linsenoptimierung und ermöglicht eine schnelle und zuverlässige Ausrichtung der Optik, was einen hohen Durchsatz und Effizienz ermöglicht. KARL RUß MJB 3 enthält auch ein softwaregesteuertes Prozessmodell, das eine einfache Einstellung von Belichtungsparametern und anderen zugehörigen Daten ermöglicht. Dieses Gerät liefert einen detaillierten Kontrollprotokoll für jeden Schritt im Fotoprozess und bietet auch einfachen Zugriff auf alle Fehler, die bei Bedarf behoben werden können. Insgesamt ist MICROTEC MJB 3 Mask Aligner ein hochpräzises Werkzeug für die Photolithographie-Produktion, das auf höchste Genauigkeit und Durchsatz ausgelegt ist. KARL RUß/MICROTEC MJB 3 ist ein robustes und zuverlässiges Werkzeug zur Erstellung von Mustern, die für die Mikroelektronik notwendig sind, mit seinen Brechmasken-Ausrichtungsmöglichkeiten, einem einstellbaren Führungssystem, einer mechanischen automatischen Be- und Entladeeinheit, einer fotografischen Optik und einer softwaregesteuerten Prozessmaschine.
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