Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-55 #9131891 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MJB-55 ist ein hochpräziser 5-Achsen-Maskenausrichter mit Wafer-Handhabung. Es soll Muster einer Photomaske präzise auf ein mit Photolack beschichtetes Substrat übertragen. MICROTEC MJB-55 verwendet eine einzigartige Kombination von 5-Achs-Linear- und Rotationsbewegungen mit PC-gesteuerter Präzision, die es ermöglicht, Muster exakt auf das Substrat zu übertragen und auszurichten. Die Ausrüstung ist so konzipiert, dass sie schnelle und genaue Musterübertragungszeiten bietet und ideal für Maskenprozesse wie Hochgeschwindigkeits-Lithographie oder Rapid Prototyping geeignet ist. KARL RUß MJB55 bietet Platz für bis zu 6 "Substrate und bietet eine Standard-x-y-Stufe mit einem maximalen Hub von 160 mm. Es verfügt über mehrstufige Konfigurationen, einschließlich einzelner, doppelter oder dreifacher Maskenstufen, mit linearer Servomotor- und Encoder-Technologie für eine hochgenaue Ausrichtung, die eine geringe Wartung erfordert. Die x-y- θ - φ -w-Ausrichtstufen bieten operative Flexibilität und eine hervorragende Wiederholbarkeit. Zusätzlich ermöglicht der Fokus/Z-Bereich von 0-50 μ m einen stabilen Fokus während des Musterübertragungsprozesses. KARL RUß MJB-55 ist mit einer Hochgeschwindigkeitsstufe für die Handhabung von Wafergrößen ausgestattet, die eine Vielzahl von Prozessen unterstützt. Es bietet auch Wafer-Dilation/Expansion und Temperaturregelung, um die Ausrichtungs- und Belichtungszeiten zu verbessern. Das Wafer Handling Zubehör kann für mehrere Substratgrößen und Prozesse konfiguriert werden, wie Spin Coating, Trog für Liquid Handling, Nass- und Trockenbearbeitung, Sol-Gel, PED, CMP, etc. Darüber hinaus verfügt das System über eine integrierte hochauflösende bildgebende Ausrichteinheit und Autofokusfunktionen für Echtzeitausrichtung und Belichtung. Dies ermöglicht schnelle und präzise Musterübertragungen und Ausrichtungen von bis zu 1 μ m. Die Maschine kann in eine Produktionsumgebung integriert werden, die mit einem Datenerfassungswerkzeug verknüpft werden kann. Das Integrationspaket Robot hilft Maskenherstellern, den Durchsatz zu optimieren und Reinraum zu sparen. Darüber hinaus bieten das wartungsfreie Design und die intuitive Benutzeroberfläche der Anlage eine einfache Wartung und Bedienung und sind somit ideal für eine Vielzahl von Produktionsanwendungen.