Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-55 #9229803 zu verkaufen

KARL SUSS / MICROTEC MJB-55
ID: 9229803
Wafergröße: 5"
Mask aligner, 5".
KARL RUß/MICROTEC MJB-55 mask aligner ist ein Ausrichtungswerkzeug zur genauen und wiederholbaren lithographischen Strukturierung von Substraten und Wafern. Diese Maschine bietet eine programmierbare Präzisionsausrichtung und Belichtungsfähigkeit bei einfacher Wartung und Bedienung. MICROTEC MJB-55 ist in der Lage, minimale Auflösungslinien von 8 µm und Submikronräumen zu erzeugen. Es bietet eine sehr enge Ausrichtgenauigkeit bei einer minimal erreichbaren Overlay-Genauigkeit von ≤2 µm. Mit seiner fortschrittlichen Photozellen-Strahlausrichtung und der automatisierten Steuerung liefert KARL RUß MJB55 eine hochpräzise Ausrichtung von Mustern bei hoher Geschwindigkeit. Das Gerät ist in sich geschlossen, wobei alle Komponenten in einem einzigen Instrument integriert sind. Es ist mit einem Vakuumfutter mit 5-Zoll-Öffnung und Decklippen, einer Messerklinge und einer Pinzette, einer Diffusorbox und einem Waferhalter ausgestattet. Das optische System von MICROTEC MJB55 besteht aus zwei flüssigkeitsgekühlten Mitteldruck-Quecksilberdampflampen und zwei Kohler-Beleuchtungsstufen. Das strahldurchlässige Retikel wird in einem Vakuummagazin gehalten, das leicht auf die Maschine geladen wird. Die Ausrichtungsmaskenoberfläche befindet sich in einer Belichtungsstufe zur horizontalen Abtastung. KARL RUß/MICROTEC MJB55 verwendet eine proprietäre strahldurchlässige Ausrichteinheit, die Laserkantenerkennung und Hellfeldbeleuchtung kombiniert, um Präzision und wiederholbare Strukturierung zu erreichen. Das Gerät verwendet eine motorisierte Z-Achse zur Feinfokusregelung der Bühnen- und Abbildungslinsen. Die Belichtung wird mit einer hochwertigen optischen Maschine zur Kantenerkennung und -registrierung überwacht. Die integrierte Steuerung ermöglicht einen automatisierten und halbautomatischen Betrieb. MJB-55 ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie Näherungssensoren, Endanschlägen und einer gehüllten Kamera. Die Maschine verfügt über eine einfach zu bedienende Touchscreen-Schnittstelle, die Einrichtung und Betrieb zu einem effizienten Prozess macht. Mit seinem ausgeklügelten Design, seiner Flexibilität und der benutzerfreundlichen Bedienung ist es ein ideales Instrument zur schnellen und präzisen Strukturierung von Substraten und Wafern.
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