Gebraucht KASPER / EATON / QUINTEL 2001 #9003958 zu verkaufen

ID: 9003958
Wafergröße: 4"
Mask aligner, 4" Split field optics 350 watt light source Resolution: 1 to 3 microns (process dependent) Available options: 2" and 3" wafer conversion kits.
KASPER/EATON/QUINTEL 2001 ist ein Masken-Aligner - ein spezialisiertes Gerät, das bei der Herstellung von Mikroelektronikgeräten verwendet wird. Es ist entworfen, um photolithographische Masken und andere Komponenten während des Wafer-Herstellungsprozesses genau auf ein Substrat zu positionieren. Das Hauptmerkmal des Geräts ist seine hohe Genauigkeit. Dies wird durch zwei separate Geräte, einen EATON-Maskenausrichter und eine KASPER-Stufe erreicht. QUINTEL Maske Aligner beherbergt die Fotomaske, die über einem Laser Direct Image (LDI) Kontrollretikel platziert wird. Das LDI-Kontrollretikel nimmt vom Substrat hohe Detailmessungen ab, um die Platzierung der Fotomaske so genau wie möglich zu gewährleisten. Die gesammelten Daten werden auf die KASPER/EATON/QUINTEL-Stufe übertragen. Dieses Gerät verwendet Präzisionsmotoren, um die Photomaske genau über das Substrat zu bewegen. Die Motoren basieren auf der EATON Quadrature Encoder Absolute Positioning (QEAP) Technologie, die eine hochgenaue Positionierung der Fotomaske gewährleistet. Die beiden Geräte zusammen ergeben einen EATON 2001 Maskenausrichter, der eine extrem präzise Maskenausrichtung ermöglicht. KASPER 2001 Maske Aligner wird in einer Vielzahl von Lithographieverfahren eingesetzt, einschließlich einschichtiger Belichtung, doppelschichtiger Belichtung und Vormusterung. Es ist Teil einer breiteren Reihe von Geräten, die bei der Erstellung von mikroelektronischen Geräten verwendet werden, einschließlich Belichtungsquellen, Gleissysteme, Wafer-Stepper und Wafer-Schrittlader. Das Design von QUINTEL 2001 ermöglicht eine einfachere Integration mit anderen Werkzeugen, was die Rüstzeit und Komplexität des Herstellungsprozesses reduziert. Neben seiner Genauigkeit und Ausrichtgeschwindigkeit hat 2001 Maske Aligner eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen in das Design eingebaut. Es ist auch mit einem Stromausfallschutzsystem ausgestattet, um sicherzustellen, dass die Maske auch bei Stromausfall sicher in Position gehalten wird. Es gibt auch ein Wartungswarnsystem, um sicherzustellen, dass das Gerät ordnungsgemäß gewartet und regelmäßig gereinigt wird. KASPER/EATON/QUINTEL 2001 Maske Aligner ist eine extrem leistungsfähige und zuverlässige Ausrüstung, so dass es ein wesentliches Werkzeug in der Mikroelektronik-Industrie. Es hat sich als zuverlässig und effizient erwiesen, so dass es eine beliebte Wahl für Hersteller und Betreiber gleichermaßen.
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