Gebraucht KASPER / EATON / QUINTEL 2001 #9192045 zu verkaufen

ID: 9192045
Mask aligner.
KASPER/EATON/QUINTEL 2001 ist eine Art Masken-Aligner, der ein anspruchsvolles Stück Halbleiterherstellungsgeräte ist, das bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen Nanotechnologiegeräten verwendet wird. Dieser spezifische Aligner besteht aus vier Primärkomponenten, einer Waferstufe, einem Retikel, einer Maske und einer Lichtquelle. Die Waferbühne ist der Tisch, auf dem der Wafer und andere Gegenstände platziert sind. Das Retikel ist eine elektronisch gesteuerte Platte, die Maske und Wafer während der Belichtung aufnimmt und präzise bewegt. Die Maske ist eine Metallplatte mit transparenten und undurchsichtigen Fenstern an vorbestimmten Stellen und dient als topographisches Muster oder Bild, das auf den Wafer geschrieben werden soll. Das Originalbild wird im Maskenspeicher abgelegt und bei Bedarf in die Maske übertragen. Schließlich beleuchtet die Lichtquelle die Maske, so dass ihr Muster während der Belichtung auf den Chip projiziert wird. EATON Maske Aligner ist entworfen, um eine hochgenaue Ausrichtung der Maske und Wafer für die bestmögliche Auflösung zu bieten. Es ist in der Lage, die gesamte Waferoberfläche mit einer minimalen Merkmalsgröße von weniger als 1 µm zu scannen, und seine Genauigkeit beträgt 0,5 µm. Darüber hinaus bietet es eine 5µm Kante-zu-Kante-Ausrichtung über den vollen Chip (300 mm2) und eine 35nm x-y-Ausrichtungsgenauigkeit. KASPER mask aligner hat andere Funktionen, die seine Genauigkeit und Leistung erhöhen, wie seine genaue Endpunktsteuerung. Diese Funktion überwacht den gesamten Scanvorgang und kann den Scan an jedem beliebigen Punkt des Prozesses für weitere Untersuchungen stoppen. Der Aligner beinhaltet auch integrierte Systemdiagnosen, die ständig im Hintergrund laufen und helfen, eventuell auftretende Fehler oder Probleme schnell zu erkennen. Schließlich hilft seine Suite von Software-Tools, die Genauigkeit des Ausrichtungsprozesses zu erleichtern, einschließlich 3D-Overlay-Messungen innerhalb von 1 µm Genauigkeit. Insgesamt ist QUINTEL Maske Aligner entworfen, um Bilder und Muster präzise auf Chips zu schreiben, und ist wesentlich für die Schaffung von hochentwickelten und zuverlässigen Halbleitern und anderen Nanotechnologie-Geräten. Es bietet hochgenaue Ausrichtung, hochauflösende Funktionen und erweiterte Diagnose- und Software-Tools. Damit ist sie ein wesentlicher Bestandteil der modernen Halbleiterherstellungslandschaft.
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