Gebraucht MELLES GRIOT 58-805 #140303 zu verkaufen

ID: 140303
Mobile aligner workstation Vibration dampened sealed hole optical breadboard, 36"x 36" Nanomax-TX stage Melles/Thor DRV001 micro adjusters 17AMR001 rotary mount (2) STC-400 camera Advanced Illumination CS400 constant current source Sony PVM-137 monitor Sony PVM-14N2U monitor Control cabinet contains: P/N 17MMR001 control chassis P/N 17MST001 stepper motor controller P/N 17MIO001 digital I/O controller P/N 17MNA001 Nanotrak controller P/N 17MMR001 control chassis (2) P/N 17MPZ001 piezoelectric controller with feedback (3) P/N 17MST001 stepper motor controller Control computer and CRT monitor.
MELLES GRIOT 58-805 ist ein Maske Aligner, der entwickelt wurde, um schnell Folien, maskierte Wafer und berührungslose Bilder von Masken und Wafern zu liefern. Diese Maske Aligner wird von der MELLES GRIOT Corporation hergestellt und basiert auf ihrer patentierten Technologie. Das Gerät verwendet ein optisches Layout ähnlich einem Mikroskop für eine genauere Ausrichtung. 58-805 bietet zwei verschiedene Belichtungsmodi, um die Präzisions- und Prozessanforderungen einer Vielzahl von Anwendungen von MEMS und Optoelektronik bis zur Materialforschung zu erfüllen. Es hat eine lange Reise, Eins-zu-Eins-Belichtungsmodus für die Registriergenauigkeit bis zu 0,2 μ m, die eine verzerrungsarme Registrierung ermöglicht. Ein vollautomatischer programmierbarer Belichtungsmodus sorgt für mehr Belichtungsgenauigkeit, schnellere Belichtungszeit und bis zu sechzehn Belichtungen in einem einzigen Lauf. Dieser Maske Aligner verwendet Ausrichtvorrichtungen und Sensoren, um Wafer, Substrathalter und Masken genau auszurichten. Die Befestigung des Wafers erfolgt automatisch und die Laufzeit ist schnell. Die Ausrichtungs- und Fokusmechanismen werden manuell bedient und weisen eine Genauigkeit von 0,2 μ m x/y und 0,1 μ m z auf. Darüber hinaus sind eine Schnellausrichtung und ein patentiertes automatisches Entfokussiersystem Merkmale von MELLES GRIOT 58-805. Bild- und Musteraussetzungseinheit der Maske Aligner enthält einen kurzen Quecksilberkreisbogen und eine xenon kurze Bogenlampenbeleuchtungsmaschine. Die Optikgruppe enthält zwei gleichzeitige Ansteuerung von zwei Lampen und das Werkzeug hat zwei Belichtungsparameter, einen für jede Lampe. Die maximale Eingangsleistung für beide Lampen beträgt 175 Watt und die Anlage verfügt auch über einen manuellen und motorisierten motorisierten Fokusmechanismus, der für eine Fokusgenauigkeit von 0,15 μ m ausgelegt ist. 58-805 Maske Aligner verwendet einen SPS-basierten, farbigen Touchscreen-Controller und eine Software für die Benutzerinteraktivität. In den Regler können alle Verarbeitungsparameter für die Belichtung, Ausrichtung, Entfokussierung und Nachbelichtungsanalyse eingegeben werden. Zusätzlich werden am Aligner eine Reihe von Sensoren angebracht, um die Genauigkeit zu maximieren und die Prozesse zu stärken. Insgesamt ist MELLES GRIOT 58-805 ein leistungsstarker und effizienter Masken-Aligner, der in der Lage ist, Wafer und Masken schnell und präzise auszurichten und gleichzeitig spannende Funktionen wie eine verzerrungsarme Registrierung, automatische programmierbare Belichtungsmodi und Entfokussierungssysteme bereitzustellen. Dieses hochmoderne Gerät wird am häufigsten in MEMS- und Optoelektronik-Anwendungen eingesetzt, ist aber auch für eine Vielzahl anderer Anwendungen geeignet.
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