Gebraucht MIDAS MDA-12FA #9382380 zu verkaufen
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MIDAS MDA-12FA ist ein Maskenausrichter, mit dem Muster von Schaltungskomponenten auf Silizium-Photomasken übertragen werden. Es ist speziell für Maskenbildungsanwendungen konzipiert, die eine hohe Genauigkeit erfordern. Die Geräte bestehen sowohl aus Hardware- als auch aus Softwarekomponenten. Die Hardware umfasst ein optisches Mikroskopsystem, einen hochauflösenden LCD-Monitor, einen X-Y-Linearpositionierer und eine rauscharme, hochauflösende Waferstufe. Die Softwarekomponente umfasst automatische und manuelle Mustererkennungsalgorithmen, eine Windows-basierte grafische Benutzeroberfläche (GUI), eine umfassende automatische Belichtungssteuerung (AEC) und ein Maskendesign-Modul. Das Gerät bietet eine 12-fache mikroskopische Vergrößerung und schnelle Mustererkennung. Die Ausrichtgenauigkeit beträgt 0,04 Mikron und die Stufenstabilität liegt bei 0.Yes01 Mikron. Der Bildkontrast in voller Auflösung beträgt 0,14 und die volle Graustufe 6 Bit. Ein automatisierter Wafer-Positionskorrekturalgorithmus ist in der Einheit enthalten, um die Fehlausrichtung eingehender Wafer zu reduzieren. Die Maschine ist sowohl für Photolithographie (für Belichtung und Entwicklung) als auch für bildgebende Anwendungen (für Datenspeicherung) konzipiert. Es unterstützt sowohl positive als auch negative Photomasken-Anwendungen und ist in der Lage, große Bilder mit bis zu 1000 dpi Auflösung zu drucken. Das Gerät ist mit mehreren Sicherheitsmerkmalen wie automatischer Abschaltung und Notstopps ausgelegt. Das Software-Tool bietet die Möglichkeit, komplexe Muster anzuzeigen, zu bearbeiten und zu analysieren. Der Benutzer kann Auflösung, Größe und Rotation von Mustern sowie Bildraster und Clipgröße auswählen und programmieren. Es gibt verschiedene Werkzeuge wie Messen, Zoomen, Drehen, Dehnen und Korrigieren, die verwendet werden können, um die Positionierung von Mustern zu optimieren. Das Maskendesign-Modul kann die Belichtungsparameter optimieren, um Defekte zu reduzieren. MDA-12FA ist vielseitig, erschwinglich und einfach zu bedienen, so dass es eine perfekte Wahl für Masken-Hersteller-Anwendungen, die hohe Genauigkeit und Flexibilität erfordern. Es bietet unübertroffene Leistung und ist damit ein wertvolles Werkzeug für Fotolithographie-Profis.
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