Gebraucht MIDAS MDA-400LJ #9094346 zu verkaufen

MIDAS MDA-400LJ ist ein hochpräziser Maskenausrichter, der speziell für die Ausrichtung und Belichtung von flachen Masken in Mikrofabrikationsanwendungen entwickelt wurde. Die Vorrichtung besteht aus einem Substrathalter, der eine einzige oder mehrere flache Maskenmusterplatten, eine Excimer-Laserlichtquelle und ein 3-Achsen-Linearmotor-Antriebssystem trägt. Mit der Laserlichtquelle kann eine ausgewählte Musterplatte mit einer voreingestellten Dosis bestrahlt werden. Mit Hilfe des 3-achsigen Linearmotorsystems wird der Abstand zwischen der Musterplatte und dem Substrathalter exakt gesteuert, wodurch eine einwandfreie Ausrichtung zwischen den beiden Elementen der Vorrichtung gewährleistet ist. Der Substrathalter wird von einem optischen Codierer angesteuert, der das Substrat zur Belichtung exakt ausrichtet. Der Codierer misst den Abstand zwischen der Musterplatte und dem Substrat zur Referenzposition, die als Schnittpunkt der X-, Y- und Z-Achse definiert ist. Diese Information wird dann von der Vorrichtung verwendet, um die Position der Musterplatte einzustellen, um das Substrat genau auszurichten. MDA-400LJ ist mit einem X-Y-Tisch mit einer Auflösung von 0,2 µm ausgestattet, der eine genaue Steuerung der Bewegung des Substrathalters und die Einstellung seiner Position bei Bedarf ermöglicht. Darüber hinaus bietet das Gerät auch einen integrierten Linearcodierer, der eine sehr hohe Stabilität der Substratposition während der Belichtung gewährleistet. Darüber hinaus bietet das Gerät ein hochauflösendes Retikel, das den Tonhöhenfehler zwischen benachbarten Masken reduziert und eine ultrafeine Musterregistrierung gewährleistet. Das Gerät ist sehr zuverlässig und ist für den wiederholten Betrieb in einem weiten Temperaturbereich ausgelegt. Darüber hinaus ist MIDAS MDA-400LJ für die Integration mit automatischen Maskenladersystemen konzipiert, sodass das Gerät im Dauerbetriebsmodus arbeiten kann. Das Gerät ist auch mit einer ganzen Reihe von Sicherheitsfunktionen ausgestattet und kann entweder mit Wechselstrom- oder Gleichstromquellen betrieben werden. Insgesamt ist MDA-400LJ ein hervorragender Masken-Aligner, der für viele Mikrofabrikationsanwendungen geeignet ist. Seine hohe Präzision und Stabilität sowie seine Sicherheitsmerkmale machen es zu einem idealen Gerät zum Ausrichten und Belichten von Masken im Mikrofabrikationsprozess.