Gebraucht MIDAS MDA-400M #9315581 zu verkaufen
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MIDAS MDA-400M ist ein hochpräziser Vollfeldmasken-Aligner zur Herstellung mikroelektronischer Bauelemente. Es verwendet eine Maskierungstechnik, um Muster von einer Photomaske auf einen Halbleiterwafer zu übertragen. Das Gerät ist in der Lage, eine breite Palette von Fertigungsanwendungen wie die Herstellung von Dünnschichttransistoren, LEDs und OLEDs. MIDAS MDA 400 M verfügt über ein weites Sichtfeld (FOV) von 400mm, so dass große Waferanwendungen durchgeführt werden können. Darüber hinaus verfügt der Aligner über eine hochpräzise Stufen- und Wiederholeinrichtung. Dieses System ermöglicht eine präzise Musterplatzierung auf dem Wafer, was eine höhere Produktqualität ermöglicht. MDA-400M verfügt über ein integriertes Laserinterferometer, das +/- 5 Nanometer (nm) Genauigkeit in der Musterplatzierung liefert Der Aligner ist auch mit einer vollständigen numerischen optischen Einheit ausgestattet, die eine präzise Musterplatzierung mit einer Wiederholbarkeit von +/- 0,2 µm ermöglicht. Für einen schnelleren Durchsatz nutzt MDA 400 M ein vollautomatisches Alignment-Setup, das Machine-Learning-Algorithmen verwendet, um die Musterplatzierung zu optimieren. Dies gewährleistet eine höhere Ausbeute bei der Herstellung von Vorrichtungen. Darüber hinaus hat MIDAS MDA-400M in sein Design eine hochmoderne Belichtungsmaschine integriert, die eine konsistente Belichtung und Musterausrichtung gewährleistet. Das Tool verwendet eine SHAR-Architektur (Super High Aspect Ratio), was bedeutet, dass Muster in einer einzigen Aufnahme großflächig auf einmal freigelegt werden. Dies erhöht die Genauigkeit und Produktivität durch Reduzierung der Belichtungs- und Musterzeiten. Darüber hinaus wurde MIDAS MDA 400 M entworfen, um einen sicheren Betrieb mit einem Vakuum-Sicherheitsbestandteil zu gewährleisten, das zur Vermeidung von Prozessgasunfällen entwickelt wurde. Das Modell verfügt auch über eine Energiesparfunktion, die hilft, den Energieverbrauch des Geräts zu reduzieren. Das Gerät ist auch mit einem eingebetteten Wärmemanagementsystem ausgestattet, das hilft, die stabile Temperatur während des gesamten Einsatzes des Aligners sicherzustellen, was zu einer besseren Belichtungsgenauigkeit und konsistenterer Geräteleistung führt. Insgesamt ist MDA-400M ein hochgenauer Vollfeldmasken-Aligner, der für optimale Fertigungsanwendungen ausgelegt ist. Sein weites Sichtfeld, die genaue Stufen- und Wiederholeinheit und das hochpräzise Laserinterferometer sorgen dafür, dass es für eine präzise Musterausrichtung und eine breite Palette von Fertigungsanwendungen verwendet werden kann. Die energiesparende Funktion und das Wärmemanagementwerkzeug der Maschine ermöglichen es auch, sie sicher und effizient einzusetzen.
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