Gebraucht MIDAS MDA-60FA #9404360 zu verkaufen

MIDAS MDA-60FA ist ein Multistrahl-Lasermasken-Aligner, der von MIDAS entwickelt wurde. Es wird bei der Herstellung von Halbleiterchips und mikroelektronischen Bauelementen eingesetzt, indem es eine exakte Positionierung, Ausrichtung und schnelle Manipulation von Photomasken und Substraten ermöglicht. MDA-60FA hat einen 18-zölligen Vollkreis, computergesteuerte 6-Achsen-Bewegungskontrolle. Es verfügt über mehrere Scan-Frequenzen, Laserleistungen und Auflösungen, die für die Präzisionsausrichtung angepasst werden können. MIDAS MDA-60FA verwendet ein hochpräzises Dual-Stage-Achsen-Modul mit integrierter MCAT-Linearsynchronisation und XY-Grobbewegungen. Es ist X-Y-Z-Stufe hat eine Positioniergenauigkeit von +/- 1,0 Mikron, Wiederholgenauigkeit von 0,3 Mikron und eine 1 mm/s Geschwindigkeit mit 0,02 μ m/s Beschleunigung. MDA-60FA ist kompakt, mit einer Standfläche von 855x855x1400mm und einem Gewicht von 155kg. Die Laserquelle von MIDAS MDA-60FA ist ein gepulster 185nm Laser mit einer Pulsbreite von 20 - 100 ms und bis zu 175mJ Energie pro Puls. Es hat eine minimale montierte Wiederholbarkeit von 1 µm, einen minimalen Strahlausrichtungsfehler von 0,25 µm und eine Fokustiefe von 2-5 µm. Die Laserspitzengröße ist von 5-100 μ m einstellbar, mit einer Mindestgenauigkeit von 0,2 μ m. MDA-60FA verfügt über eine breite Palette von Softwarefunktionen, um eine wiederholbare Ausrichtung mit schneller Ausrichtungseinrichtungszeit zu ermöglichen. Die Software unterstützt zahlreiche Lithographieformate, bietet eine automatische Ausrichtung und Verzerrungskorrektur und unterstützt eine erweiterte Schachbrettkalibrierung für eine höhere Genauigkeit. Die integrierte MCAT Laser Synchronisation sorgt für eine extrem genaue Hochgeschwindigkeitsausrichtung durch kontinuierliche Ausrichtung von Laserquellen und Bildverarbeitung. Insgesamt ist MIDAS MDA-60FA ein Branchenführer in der Präzisionsausrichtung für Halbleiter- und MEMS-Anwendungen. Die Kombination aus fortschrittlicher Bewegungssteuerung, Dual-Stage-Modul, Laserquellen und umfassenden Softwarefunktionen bietet optimale Leistung für eine ultrapräzise Ausrichtung bei kostengünstigem Betrieb.