Gebraucht MIDAS MDA-80MS #9204277 zu verkaufen
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ID: 9204277
Wafergröße: 6"-8"
Mask aligner, 6"-8"
Mask holder & stage included
Semi-auto aligner.
MIDAS MDA-80MS ist ein hochpräziser Maskenausrichter, der für die effiziente Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Diese Ausrüstung ist ideal für Anwendungen, die eine hohe Genauigkeit Ausrichtung und Musterauflösung erfordern. Die Fähigkeiten des Aligners bieten eine genaue Platzierung von Mustern auf Zielsubstraten mit einer Präzision von ± 2 μ m über einen Arbeitsbereich bis zu 200x200 mm. MDA-80MS ist mit einem Hochleistungs-Laserausrichtsystem zur präzisen Mustererfassung ausgestattet. Dadurch wird eine genaue Ausrichtung der Zielsubstrate mit einer Genauigkeit von 0,2-0,5 µm gewährleistet. Die Einheit unterstützt auch die Ausrichtung von Mustern mit verschiedenen Größen und Formen und eine breite Palette von Ausrichtungsgenauigkeitsoptionen. Der aligner unterstützt auch eine breite Palette von Ausrichtungstools und Softwarepaketen, so dass Benutzer die Maschine an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Das Tool ist hochempfindlich und verfügt über eine hochauflösende CCD-Kamera, mit der Benutzer den Ausrichtungsprozess überwachen können. Die Anlage bietet auch einstellbare Belichtungssteuerung und Lichtintensitätseinstellungen, um die Genauigkeit der Ausrichtung auf einer Vielzahl von Substraten und Belichtungsbedingungen sicherzustellen. Neben der hochpräzisen Ausrichtung verfügt MIDAS MDA-80MS auch über ein automatisiertes Maskenbeladungsmodell. So können Anwender Photomasken in einem vollautomatischen und wiederholbaren Prozess schnell auf das Substrat laden und entladen. Das Gerät kann bis zu 15 verschiedene Masken pro Substrat laden, so dass Benutzer mehrere Geräte auf einem einzigen Substrat herstellen können. MDA-80MS verfügt auch über ein automatisiertes Retikle-Kontrollsystem, das eine präzise und wiederholbare Musterübertragung ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass Muster genau auf die Substrate übertragen werden und gleichzeitig eine genaue Positionseinstellung gewährleistet ist. Das Gerät ist mit strengen Umweltschutzmaßnahmen ausgelegt, um einen stabilen und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Die Maschine ist außerdem mit einer automatischen Funktion zum Schutz vor Datenverlusten während des Ausrichtvorgangs ausgestattet. MIDAS MDA-80MS ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Maskenausrichter, der für die effiziente Herstellung komplexer Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Mit seinen hochgenauen Ausrichtungsmöglichkeiten und der leistungsstarken Musteranpassungstechnologie kann das Tool Anwendern dabei helfen, die neuesten Halbleitertechnologien und -materialien zu nutzen.
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