Gebraucht NIKON Projection Aligner #200355 zu verkaufen
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NIKON Projection Aligner ist ein Masken-Aligner für fortschrittliche Lithographieanwendungen wie mikroelektronische Geräteherstellung, Photomaskenproduktion und Feinlinie für Hybridschaltungen. Diese Ausrüstung zeichnet sich durch hohe Genauigkeit, zuverlässige Ausrichtung und effizienten Betrieb aus. Es verwendet fortschrittliche optische Technologie, um eine präzise Ausrichtung über ein weites Sichtfeld zu ermöglichen, was höhere Erträge und verbesserte Produktqualität ermöglicht. Projektion Aligner verfügt über ein optisches System mit zwei Linsen, bestehend aus einer Projektionslinse und einem Teleskop. Der fortschrittliche Ausrichtungsalgorithmus des Geräts verwendet das Kontrast- und Kontrastverhältnis der projizierten Bilder zur genauen Ausrichtung auf Bereiche des Gerätewafers, die im Allgemeinen zu klein für die manuelle Ausrichtung sind. Durch die Verwendung von telezentrischer Optik bei gleichzeitiger zweiachsiger (X-Y) Bewegung der Maske ermöglicht die Maschine eine genaue und zuverlässige Ausrichtung von ≤ 200um Mustern in Zeitrahmen, die deutlich kürzer sind als eine manuelle Ausrichtung. NIKON Projection Aligner ist ein 3-Achsen-Werkzeug mit einer schnell abtastenden Bühne, die die Fotomaske schnell und genau in Projektionsrichtung positioniert. Die Schnellabtaststufe ermöglicht auch eine automatische Ausrichtung und Belichtung an mehreren Stellen des Substrats, wodurch eine Massenproduktion möglich ist. Das Objektiv-Teleskop verfügt über eine synchrone Steuerung zur Registrierung entlang der Z-Achse und ein Autofokus-Modell zur Sicherstellung der Freiform-Projektionsbildgebung. Weiterhin verfügt das Gerät über eine externe Kamera mit LED-Lichtquelle und ein hochauflösendes Display zur Betrachtung des Maskenmusters bzw. Substratmusters. Diese Funktion ermöglicht eine manuelle Einstellung, wenn eine manuelle Ausrichtung erforderlich ist. Projection Aligner verfügt zudem über einen hochempfindlichen Justierjoystick und eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine schnelle und einfache Bedienung mit minimalen Trainingsanforderungen ermöglicht. Zusammengefasst bietet NIKON Projection Aligner eine hohe Genauigkeit, zuverlässige Ausrichtung und effiziente Bedienung und ist damit ideal für Hightech-Lithographieanwendungen. Die schnelle Scanstufe, die intuitive Benutzeroberfläche und die synchrone Steuerung entlang der Z-Achse ermöglichen kürzere Zeitrahmen und höhere Produktionsausbeuten. Darüber hinaus ermöglichen die externe Kamera und die LED-Lichtquelle eine manuelle Ausrichtung und Betrachtung des Substrat- und Maskenmusters, wodurch eine genaue Registrierung der Fotomaske gewährleistet ist.
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