Gebraucht OAI 200 #9008675 zu verkaufen

OAI 200, auch als Orion Aligner Maske bekannt, ist eine hochauflösende Bildausrichtungsausrüstung, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Dieses System dient zum Messen und Ausrichten von Markierungen auf Halbleiterscheiben. 200 besteht aus einer überlagerten, berührungslosen optischen Abbildungseinheit. Die Maschine misst exakte Pixelpositionen von Markierungen aus dem Overlay-Raster, die durch Laserdioden oder Laserstrahlen erzeugt werden. OAI 200 verwendet hochauflösende Objektive und eine mehrachsige Stufe, um die Ausrichtung und Registrierung von Bildern genau zu steuern. Das Werkzeug besteht aus einer Stufensteuereinheit und einer Erfassungssteuereinheit. Die Stufensteuerung steuert die Drehung und Neigung der Bühne exakt auf die gewünschte Orientierung und Position zur Bildaufnahme. Die Detektionssteuereinrichtung verwendet elektrooptische Geräte, um Bilder zu detektieren. Es verwendet entweder die Kantenerkennung oder das Zentrum der Lichterkennung, um Bilder zu erfassen und auszurichten. 200 Modell misst Overlay-Bilder von 200nm bis 800nm Größe und arbeitet mit 1x und 4x Geschwindigkeit. Es ist in der Lage, komplette Bereiche des Wafers in einem einzigen Schuss zu messen. Das Gerät kann Markierungen über das Bild messen, was hilft, Überkalibrierung zu minimieren. Dies ermöglicht höhere Produktausbeuten. Mit der im System verwendeten Bildanalysesoftware können Benutzer ihre eigenen Antwortfunktionen für die Kantenerkennung, Kreiserkennung und Massenerkennung anpassen. Darüber hinaus verfügt OAI 200 über eine Echtzeit-Bildaufnahmeeinheit, mit der der Benutzer mehrere Bilder gleichzeitig erfassen und ausrichten kann. Die Maschine kann mehrere Bereiche eines Wafers in einer Iteration messen und ausrichten. Das Tool verfügt über mehrere erweiterte Funktionen wie automatisierte Ausrichtung für Multi-Die-Stacks und Multi-Bay-Multi-Layer-Substrate. 200 bietet auch hochgenaue Ausrichtungsmerkmale und genaue Ausrichtungsergebnisse. OAI 200 ist ideal für die Messung der Größe von mikroskopischen Lichtquellen, die schnelle Messung kleiner unterdimensionierter Pixel und die Herstellung von 0,18 Mikrometer Chips mit ausgezeichneter Ausbeute. Die Anlage wird in verschiedenen Branchen wie Luft- und Raumfahrt, Automobil, Medizin und Halbleiter eingesetzt.