Gebraucht OAI 2000SM #9256685 zu verkaufen

OAI 2000SM ist ein hochpräziser, computergesteuerter Maskenausrichter der OAI Corporation. Das Gerät ist speziell für die Herstellung von Halbleiterbauelementen konzipiert und eignet sich ideal für die Strukturierung von Prozessen, wie optisches Schreiben, Ätzen und Entwickeln von Geräten mit minimalen Merkmalsgrößen bis zu 1 µm. 2000SM ist ein hochauflösendes zweiachsiges Servomotorsystem, das eine erhöhte Genauigkeit von bis zu ± 1µm in der X- und Y-Achse aufweist. Es bietet auch einen hohen Durchsatz mit einer Zykluszeit von nur 1,7 m. Das Gerät sorgt für eine hervorragende Überlagerungsgenauigkeit mit einer maximalen Ausrichtgenauigkeit von 5 µm. Es kann auch dicke Substrate bis zu 280mm dick handhaben. OAI 2000SM verfügt über eine hochflexible Maschinenarchitektur, die die Integration verschiedener Peripheriekomponenten ermöglicht, um den spezifischen Anforderungen des Kunden gerecht zu werden. Das Werkzeug kann mit einer Vielzahl von Geräten wie optischen Steppern, Sputtersystemen, Chargenspinnern, Ätzsystemen, Ionenimplantaten und Diffusionsöfen integriert werden. Die Anlage ist mit einer starren Aluminium-Grundplatte gebaut, die unübertroffene Ebenheit und Genauigkeit ermöglicht. Es verfügt auch über eine Flachplatten-Scan-Funktion, die das Scannen von Mustern für die schnelle Einrichtung und Neuausrichtung des Werkzeugs ermöglicht. Dies reduziert die Zeit, die benötigt wird, um die Maske mit dem Substrat auszurichten, was eine schnellere Reaktionszeit ermöglicht. 2000SM ist ein sehr zuverlässiger Aligner, der die strengen Sicherheits- und Wiederholbarkeitsstandards für die Halbleiterherstellung erfüllt. Es ist mit Sicherheitsverriegelungen an allen Türen und Komponenten ausgestattet und entspricht den ESD-Standards (electro-static discharge). Es verfügt auch über ein Alarmmodell, das im Notfall auf Warnung des Bedieners eingestellt werden kann und so einen zuverlässigen Betrieb gewährleistet. OAI 2000SM mask aligner ist eine ideale Lösung für die präzise Strukturierung von Halbleiterbauelementen. Mit seiner präzisen Ausrichtungsgenauigkeit, der fortschrittlichen Ausstattungsarchitektur und robusten Sicherheits- und Leistungsstandards ist das System gut an die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie angepasst.