Gebraucht OAI 5008 #9155197 zu verkaufen

OAI 5008 ist ein hochpräziser Maskenausrichter für Photolithographie-Anwendungen der nächsten Generation. Es ist eine Vollfeld-UV-Belichtungsanlage, die Lichtquelle und Schritttechnologie verwendet, die eine breite Palette von Wafergrößen unterstützt, von 100mm bis 8-Zoll (200mm) Substrate. 5008 wird gebaut, um eine genaue Belichtung der Photomaske auf den Wafer zu gewährleisten. Dies geschieht mit Schrittpositioniergenauigkeit und einer Wiederholbarkeit von ± 0,5 μ m. Das System bietet einen großen dynamischen Bereich in der Belichtungsenergie, von 0,2 Millijoule bis 20mJ, und eine breite Palette von mehreren Belichtungsoptionen. Das Gerät verfügt über eine Laser-Interferometer-Maschine, die absolute Ausrichtung bietet, und eine Kontur Beleuchtung Optik Werkzeug, das eine gleichmäßige Belichtungsqualität ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über eine automatische Ausrichtung mit einer maximalen Genauigkeit von 1,5 μ m sowie automatisierte Ausrichtungsoptimierungsalgorithmen. Das Asset verfügt auch über verschiedene Steuerungssysteme, die eine breite Palette von Funktionen bieten, um seine Leistung zu verbessern. Es verfügt über eine Prozesssteuerungssoftware, die über verschiedene Funktionen wie Belichtungsparametersteuerung, Expositionsmanagement, Überwachung und Leistungsbericht verfügt, um eine konsistente und hohe Leistung zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt es über ein Advanced Process Control (APC) -Modell mit den Modulen Statistical Process Control (SPC) und Real-Time Optimary (RTO) zur präzisen Überwachung und Verbesserung der Prozessleistung. OAI 5008 ist ein top-of-the-line Maske Ausrichter, die hervorragende Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Konsistenz bietet. Dank seiner hochpräzisen Eigenschaften ist es die ideale Wahl für eine Photolithographie-Ausrüstung. Das System ist hochgradig konfigurierbar, so dass es die Anforderungen verschiedener Arten von Lithographie-Prozessen erfüllen kann. Es ist auch effizient und bietet hohe Durchsätze mit niedrigen Defekten.