Gebraucht OAI Hybralign 200 #293590397 zu verkaufen
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OAI Hybralign 200 ist ein halbautomatischer Maskenausrichter, der eine fortschrittliche Musterplattform für die optische Lithographie bietet. Dieses Gerät wird verwendet, um Muster auf Photomasken zu erstellen, die bei der Schaffung hochauflösender Strukturen mit präzisen Abmessungen helfen. Das Gerät verwendet extrem ultraviolette projizierte Bildgebung, um die gewünschten Muster auf der Photomaske zu erhalten. Das System ist mit einer zweistrahligen Projektionseinheit ausgestattet, die sich für die meisten Lithographieanwendungen eignet. Sein räumlicher Lichtmodulator ist mit einem Laserprojektionswerkzeug integriert, um eine präzise Strukturierung der Fotomaske zu ermöglichen. Das Laserprojektionswerkzeug verwendet ein Galvanometer für seine dynamische optische Ausrichtung und Kompensationsfehler durch mechanische Schwingungen und Temperaturschwankungen. Dies gewährleistet eine hochpräzise Ausrichtung ohne Maske-zu-Maske-Fehler. Der automatisierte Mustermotor der Maschine bietet Flexibilität, um eine breite Palette von Funktionsgrößen und Layouts mit hoher Präzision zu erzeugen. Das Werkzeug ist mit einem CCD-Kameraüberwachungswerkzeug zur Bildvektorausrichtung und Anzeige ausgestattet. Dies hilft bei der Überprüfung des Musterstatus während des gesamten Prozesses. Seine externe Ausrichtung Laserintegration ermöglicht eine präzisere Ausrichtung, die hilft, höhere Ausbeuten in der Fertigung zu erzielen. Die Maschine bietet auch erweiterte Overlay-Toleranzen unter Berücksichtigung mechanischer und optischer Aberrationen im Photomasken-Layout. Die integrierte Prozessmanagement-Software dient der Schnittstelle mit Job-Scheduling-Software und CIM-Systemen. Dies hilft, automatisierte Prozesse für die Photomaskenherstellung zu schaffen, die den Durchsatz der Anlage optimieren. Das Modell ist eine zuverlässige Lösung für die Herstellung hochwertiger Photomasken für den Einsatz in der optischen Lithographie. Seine erweiterten Funktionen und verbesserten Spezifikationen sorgen für genaue Ergebnisse in jeder Anwendung. Hybralign 200 bietet eine hohe Prozesskontrolle und Genauigkeit, die bei der Herstellung von hochauflösenden Photomaskenstrukturen unerlässlich ist.
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