Gebraucht OAI HYBRALIGN 500 #9012380 zu verkaufen

Hersteller
OAI
Modell
HYBRALIGN 500
ID: 9012380
Wafergröße: 6"
Mask aligner Currently set up for 6" OAI model 783 illuminator supply and controller Converted to Nikon microscope; includes original Zeiss dual channel scope.
OAI HYBRALIGN 500 ist ein professioneller Maskenausrichter, der für Lithographieverfahren bei der Entwicklung von integrierten Schaltungen (IC) eingesetzt wird. Es ist eine Art von Stepper, der verwendet wird, um Muster auf einem Substrat abzubilden. HYBRALIGN 500 ist eine Doppelfeldmaschine, d.h. sie hat zwei Felder, mit denen gleichzeitig abgebildet werden kann. Dies ermöglicht einen schnellen Austausch zwischen Feldern und die vertikale Ausrichtung verschiedener Masken innerhalb desselben Musters. OAI HYBRALIGN 500 hat eine Auflösung von 0,2 μ m oder mehr, abhängig von den Schrittparametern. Seine Eigenschaften umfassen Tiefenoptimierung der Fokus, UV-Licht-Belichtung und Ausrichtung und Fokus-System. Es enthält auch Exposure Control Unit (ECU), die verwendet wird, um die Einstellungen für jede Belichtung zu optimieren, um die höchste Genauigkeit und höchste Bildqualität zu gewährleisten. Der Prozessor kompiliert dann die Belichtungsdaten und sendet sie direkt an den Aligner. HYBRALIGN 500 ist auch mit einer asphärischen Säule ausgestattet, die eine präzise Ausrichtung und höchste Auflösung bei der Anpassung der Muster ermöglicht. Es verfügt auch über ein fortschrittliches Maskenausrichtungssystem, das eventuelle Unterschiede in den Mustern durch Schrittverschiebung ausgleichen kann. Darüber hinaus verfügt es über ein Anti Drift System, das die Fehlausrichtung ständig innerhalb des maximal zulässigen Wertes hält und so die Gesamtausbeuten für den Lithographieprozess verbessert. Die Maschine unterstützt auch eine Reihe von Maskengrößen bis zu 8 Zoll, mit direkten und indirekten bildgebenden Fähigkeiten wie Laser-Resistbelichtung und Laserquelle gerichtete Belichtung. Darüber hinaus enthält es eine saubere Verschmutzungskerneinheit zur Minimierung von Verschmutzungen und eine Option für die Unterfeld-Bildgebung mit einer eingebauten Drehstufe. OAI HYBRALIGN 500 verfügt über mehrere eingebaute Funktionen wie ein Messerkantenverfahren, das Bessel-Strahlverfahren und ein luftlagerendes Tischlaufwerk, das eine präzise Kontrolle der Belichtungen und der Bildauflösung ermöglicht. Darüber hinaus ist HYBRALIGN 500 ergonomisch auf einfache Wartung und reibungslosen Betrieb ausgelegt. Es ist auch kompatibel mit verschiedenen Arten von Steppern, so dass es für eine Reihe von Branchen anwendbar. Insgesamt ist OAI HYBRALIGN 500 ein hochentwickelter Maskenausrichter, der eine hervorragende Bildauflösung und hochpräzise Lithographie für die Entwicklung von integrierten Schaltungen bietet. Seine erweiterten Funktionen bieten nicht nur hohe Erträge, sondern maximieren auch den Durchsatz und reduzieren Defekte im Herstellungsprozess.
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