Gebraucht OAI J500 #293810208 zu verkaufen

OAI J500 ist ein Maskenausrichter für die Halbleiterlithographie zur Herstellung integrierter Schaltungen. Der Maskenausrichter kann eine Maske oder Photomaske mit einer Genauigkeit im Nanometermaßstab an einem Wafer ausrichten. Dies geschieht durch Projektionsausrichtung und unterstützt durch Winkeleinstellung und ein Scanmikroskop. Der Maskenausrichter besteht aus einem optischen Projektionssystem und enthält vier Hauptkomponenten: eine Lichtquelle, eine Projektionsoptik, eine Maskenbühne und eine Waferbühne. Die Lichtquelle kann aus Laser, LED und Lichtbogenlampe mit unterschiedlicher Wellenlänge und Ausgangsleistung ausgewählt werden. Die Projektionsoptik vergrößert und projiziert die Maske auf den Wafer und verfügt über ein Retikel, eine Abtastlinse und eine Kondensatorlinse. Das Retikel wird verwendet, um die Größe, Form und Winkelorientierung des Maskenmusters anzupassen, während das Scanobjektiv verwendet wird, um den Fokus des Maskenlayouts zu korrigieren. Die Kondensatorlinse wird verwendet, um das Bild der Maske auf dem Wafer zu bilden. Die Maskenstufe dient zur Aufnahme der Fotomaske und kann dreidimensional bewegt werden, wodurch die Ausrichtung von Maske und Wafer ermöglicht wird. Es verfügt über ein Trägheitssystem mit niedriger Geschwindigkeit und einem Servosystem mit geschlossener Schleife, um XYZ-Positionsgenauigkeit bereitzustellen. In der Maskenstufe befindet sich auch die chromatische Ausrichtoptik, die eine 3D-Kompensation von durch die Projektionsoptik induzierten Aberrationen ermöglicht. Die Waferstufe dient als Substrat für die Ausrichtung der Maskenschicht. Es besteht aus keramischem Material und ist in der Lage, rotatorische Ausrichtung und ultraglatte Abtastung mit minimalen Streufeldern. Die Ausrichtung der Maske und des Wafers erfordert eine hohe Genauigkeit bei einer optimalen Genauigkeit von 0,4 Mikrometern für die Strukturierung. J500 Maskenausrichter ist ein wichtiges Werkzeug für die Halbleiterlithographie, das bei der Herstellung integrierter Schaltungen und anderer mikroelektronischer Bauelemente eingesetzt wird. Es kann Nanometer-Niveau der Präzision und Genauigkeit zur Verfügung stellen und gleichzeitig hohen Durchsatz und Zuverlässigkeit in den anspruchsvollsten Halbleiterprozessen beibehalten.