Gebraucht ORIEL 8097 #9096377 zu verkaufen

ORIEL 8097 ist ein Aligner-Prober Maske Stepper, der in Geräteherstellungsprozessen verwendet wird. Es wird verwendet, um ein von einem Retikel erreichtes Photolackmuster zur präzisen Ausrichtung und kontrollierten Abscheidung auf ein Siliziumsubstrat zu übertragen. Der Masken-Aligner verfügt über eine automatisierte 42 mm Retikel-Austauscheinrichtung für schnellere Beladung, die effiziente Produktionsprozesse fördert. 8097 verfügt über ein Standard-Sichtfeld (FOV) von 8x8 Zoll, begleitet von einem automatisierten Wafer-Indexsystem zur vollständigen Feldsteuerung während des Ausrichtvorgangs. Darüber hinaus bieten seine XY-Bewegungssteuerungsfunktionen, gepaart mit weiteren Konfigurationsoptionen wie automatische Fokussierung, rückseitige Ausrichtung und eine Stempel-zu-Stempel-Ausrichtungsoption, flexible Ausrichtungsszenarien. Der Vollfeldausrichter verfügt zudem über eine Vision-Einheit zur präzisen Ausrichtung über einen erweiterten 20-Bit-Bildverarbeitungsprozessor und eine hochauflösende 0,74 µm-TV-Spot-CCD-Kamera mit globaler Verschlusstechnologie. ORIEL 8097 ist mit mehreren Ausrichtungsmodi verfügbar, einschließlich Pixelmaskenanpassung, Hellfeld, edgescan wafer overlays, Mustererkennung und Echtzeitinspektion. Darüber hinaus verfügt das Retikel über einen Autofokusmechanismus mit Präzisionssteuerung durch manuelle und algorithmische Koordinateneinstellungen. Darüber hinaus ist es mit einer Vielzahl von linearen und segmentierten Aktuatoren für Präzisionsparallelität und Planheit in Substrat oder Maskenausrichtung ausgestattet. 8097 wird von einer Linux-Echtzeit-Bedienmaschine und einer Mensch-Maschine-Schnittstelle (HMI) für einen effizienten Betrieb angetrieben. Es hat eine Schrittauflösung von 0,5-1,0 µm, ein maximales Schreibfeld von bis zu 4 Zoll und eine Stufengenauigkeit von 8,0 µm (3-Sigma). Das gesamte Werkzeug arbeitet in einer Waferkassettenumgebung, die 8-Zoll bis 200 mm-Wafer sowie bis zu 42 mm-Retikel im Retikelmagazin aufnehmen kann. Seine grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht eine einfache Programmeinrichtung und automatisierte Schrittsteuerung. Darüber hinaus verfügt ORIEL 8097 über eine integrierte Hochvakuum (HV) -Plasma-Desmearing-Station zur Nachreinigung und eine Vakuum-Halogenreduktionsstation zur Minimierung der Partikelkonzentration. Darüber hinaus umfasst es ein beheiztes Spannfutter zur Minimierung von thermischen Belastungseffekten auf das Substrat, eine UV-Flutlampe zur Bestrahlung mit UV-Lichtquelle und ein integriertes Dach-Heber-Asset mit ± 100 µm Genauigkeit zur Steuerung des Spaltabstandes zwischen Maske und Wafer auf Submikron-Genauigkeit. Abschließend ist 8097 ein Masken-Aligner mit Präzision, Zuverlässigkeit und Skalierbarkeit im Auge. Es ist eine ideale Wahl für die Abscheidung von Photolack auf Substraten mit Genauigkeit und Geschwindigkeit. Dieser Stepper bietet eine maximale Lebensdauer von drei Jahren, was eine hohe Investitionsrendite und eine effiziente Produktion gewährleistet.