Gebraucht PERKIN ELMER Micralign 220 #9233008 zu verkaufen
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PERKIN ELMER Micralign 220 Maske Aligner ist ein vielseitiger Ausrichter für die Halbleiter-Photolithographie-Maskierung, der überlegene Ergebnisse mit hoher Genauigkeit liefert. Es ist ein ideales Werkzeug für eine Reihe von Anwendungen, von der Klein- bis Mittelserienfertigung von Komponenten, die nahtlose, genaue Übergänge von einer Schicht zur nächsten erfordern. Micralign 220 Maske Aligner verwendet zwei entgegengesetzte X-Y-Stufen, um eine Abschirmung genau zu positionieren und Wafer auf 18 x 20 und 36 x 40 mm Substrate auszusetzen. Dreidimensionale Messungen der Wafer-, Wasser- und Ausrichtungsliftoberfläche sorgen für Genauigkeit und Genauigkeit des Geräts. Diese Genauigkeit wird durch die Pad-Level-Steuerung der Schrittbewegung erreicht, kombiniert mit einem XY-cross-telezentrischen Sensorsystem, das einen driftfreien Betrieb garantiert. PERKIN ELMER Micralign 220 Maske Aligner bietet auch optionale integrierte Wafer-Handhabung, die separate Ausrichtung und Belichtung ermöglicht. Die Einheit verfügt über einen schrittangetriebenen Ausrichtmechanismus, der eine Vielzahl von Ausrichtwinkeln ermöglicht und auch eine parallele oder serielle Ausrichtung durchführen kann. Es verwendet hochspannende, multispektrale optische Projektion, um 25 Mikrometer oder eine bessere Ausrichtungsgenauigkeit und eine minimale Merkmalsgröße von 3 Mikrometern zu erhalten. Micralign 220 Mask Aligner ist für Anwendungen mit hohem Durchsatz konzipiert und die optionale Multibelichtungsmaschine sorgt für eine gleichzeitige Belichtung mehrerer Substrate für mehr Effizienz. PERKIN ELMER Micralign 220 Maske Aligner enthält auch eine intuitive Benutzeroberfläche, so dass es einfach zu steuern und zu bedienen. Es verfügt über ein integriertes Kalibrierungstool, das das Asset automatisch anpasst, wenn Forderungen außerhalb des Zielfensters auftreten. Das Modell ist auch mit einem patentierten MEMS (micro electro-mechanical equipment) Phasenschiebesystem ausgestattet, das sicherstellt, dass alle verschiedenen Belichtungen die gleiche Phasenverschiebung bei Überlagerungen erreicht haben und die gesamte Prozessstabilität erhalten bleibt. Schließlich umfasst das Gerät eine Temperatur- und Feuchtigkeitsregelmaschine, die sicherstellt, dass der Ausrichtungs- und Belichtungsprozess in der optimalen Umgebung durchgeführt wird. Micralign 220 Maske Aligner ist für maximale Wiederholbarkeit und Genauigkeit konzipiert und ist das perfekte Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen zur Maskenausrichtung und Photolithographie. Seine Vielseitigkeit und intuitive Benutzeroberfläche machen es zu einem idealen Werkzeug für Anwendungen, die hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit erfordern.
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