Gebraucht QUINTEL / NEUTRONIX Q 4000 #9131039 zu verkaufen

ID: 9131039
High resolution mask aligner With misc cartons.
QUINTEL/NEUTRONIX Q 4000 ist ein hochmoderner Maskenausrichter zur Herstellung hochpräziser mikroelektronischer Bauelemente. Dieses Gerät kombiniert eine optimierte Wafer-Handhabung und Maschinenschnittstelle mit einem fortschrittlichen galvanometrischen Scanner, um hochgenaue Ausrichtungen und Belichtung von Mustern (Masken) auf Substraten bereitzustellen. Herzstück der QUINTEL Q 4000 ist die hochpräzise Platzierung und Scanfunktion von Wafern. Es verwendet eine sechsachsige Waferübertragungsstufe und einen fortschrittlichen Galvanometer-Scanner mit geringer Trägheit, der sich nach Bedarf neigen und drehen kann, um hochgenaue Ergebnisse zu erzielen. Das Gerät verfügt auch über Präzisionsbewegungsregler und ein Präzisionscodiersystem zum präzisen Scannen entlang der X-, Y- und θ-Achsen; eine Encoderauflösung von bis zu 0,5 μ m; Beschleunigung und Geschwindigkeit bis zu 8m/s2; und Wiederholbarkeit von bis zu 0,01 mm. Die Wafer selbst werden auf die Transferstufe gelegt und über den Galvanometer-Scanner zur Durchführung des Maskenausrichtvorgangs abgetastet. Die Einheit ist in der Lage, die drei Achsen zu synchronisieren, um die Maske exakt auf den Wafer auszurichten, wobei eine präzise Positionierung mit höchster Genauigkeit erfolgt. Die Ausrichtmaschine ist dank ihrer optischen Anordnung aus Linsen, Prismen und Quarz-Laserlichtquellen in der Lage, Muster mit verschiedenen Vergrößerungsgraden zu belichten. NEUTRONIX Q-4000 ist in der Lage, Wafer mit einer Reihe von Größen und Dicken von 1 bis 8 Zoll Durchmesser mit einer maximalen Dicke von 10,0 mm zu verarbeiten. Die Feldgröße des Werkzeugs ist ebenfalls einstellbar, mit einer Standardfeldgröße von 50 × 50mm, die sich bis zu 130 × 130mm erstreckt. Darüber hinaus ist die Anlage für die Abwicklung mehrerer Waferprozesse wie Spincoating, thermische Trocknung und rückseitige Ausrichtung ausgestattet. Darüber hinaus wird das Modell mit einem Windows NT-basierten Softwarepaket betrieben, das dem Anwender die komplette Automatisierung zahlreicher Waferaufbereitungs- und Maskenausrichtungsfunktionen ermöglicht. Es verfügt über eine vollständig grafische Benutzeroberfläche mit einer Fülle von Bildschirminformationen und Menüs, um den Benutzer zu erleichtern. Diese Informationen beinhalten Echtzeit-Updates zu Waferbewegungen, Zielen, Feldgröße, Ausrichtungsstatus, Scan-Parametern und mehr. Q-4000 ist ein zuverlässiger, hochmoderner Maskenausrichter für Anwender, die eine präzise Ausrichtung von Mustern auf Wafer zur Herstellung mikroelektronischer Bauelemente benötigen. Mit seiner sechsachsigen Wafer-Übertragungsstufe, einem fortschrittlichen und trägheitsarmen Galvanometer-Scanner und einer Automatisierungssoftware auf Windows NT-Basis wurde NEUTRONIX Q 4000 entwickelt, um Genauigkeit und Zuverlässigkeit für alle Anwendungen bereitzustellen.
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