Gebraucht QUINTEL / NEUTRONIX Q7000 IR #9063417 zu verkaufen
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ID: 9063417
Wafergröße: 2"- 4"
Weinlese: 2002
Backside mask aligner, 2"- 4"
Wavelength: 365 nm
2002 vintage.
QUINTEL Q7000 ist ein vielseitiger, leistungsstarker Maskenausrichter für photolithographische Anwendungen bei der Herstellung von Bauelementen wie Halbleitern und Optoelektronik. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu belichten, einschließlich Quarz, Glas, Metall, Keramik und Wafer. Das Q7000 verfügt über ein großes Arbeitsfeld von 16 „x16“ und ermöglicht eine genaue Ausrichtung der Komponenten während der Lithographie-Prozesse. Seine fortschrittliche Optik, digitale Bildgebung und vakuumbetätigte Luftschleuse sorgen für eine gleichmäßige Belichtung und genaue Positionierung der Fotomaske. Genauigkeiten von bis zu 0,5 Mikron können erreicht werden, wenn die optionalen Autofokus- und Bildnahtfunktionen des Systems verwendet werden. Das Gerät verfügt über eine eingebaute Gas- und Chemikalienliefermaschine, um während des Lithographieprozesses kontrollierbare Quellgase und chemische Reagenzien sicherzustellen. Der integrierte Touchscreen-PC bietet Zugriff auf Mess- und Ausrichtungsfunktionen, während das Dual-Master-Interferometer-Tool eine verbesserte Optik bietet, um die Belichtungszeit zu reduzieren und die Ausrichtungsgenauigkeit zu verbessern. Die Anlage wurde entwickelt, um Kontaminationen zu minimieren und eine maximale Auflösung mit seiner niedrigen Temperatur (~ 5 ° C), niedriger Luftfeuchtigkeit, Faraday Käfig-geschlossenen Umgebung und beständig gegen Partikelverunreinigungen zu bieten. Seine win/win Auto-Anweisung und Datenspeicherparameter ermöglichen es Ihnen, den Durchsatz aus dem Ausrichtungsprozess leicht zu maximieren. Das Modell ist auch mit Dual-Strahl-Fähigkeiten ausgestattet, die simultane Bilder für zwei verschiedene Wellenlängenmuster für verbesserte Auflösung, Genauigkeit und Geschwindigkeit der Ausrichtung zur Verfügung stellen. Die überlegene Luftfiltrationsausrüstung sorgt dafür, dass nur saubere Luft in die Systemumgebung eingeleitet wird. Zur Sicherheit verfügt das Q7000 über einen Over-Ride-Schlüssel und eine voll integrierte Warneinheit, so dass es ohne Beeinträchtigung der Sicherheit des Personals eingesetzt werden kann. Die Maschine hat auch eine Reihe von Optionen, die an die Anforderungen verschiedener Produktionsprozesse angepasst werden können. QUINTEL/NEUTRONIX Q7000 IR ist ein ideales Werkzeug für Anwendungen wie die Herstellung von Halbleitern, MEMS und optoelektronischen Bauelementen sowie für alle Prozesse, die eine präzise Photolithographie und Maskenausrichtung erfordern.
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