Gebraucht QUINTEL Q4000 #293663745 zu verkaufen

Hersteller
QUINTEL
Modell
Q4000
ID: 293663745
Wafergröße: 4"
Mask aligner, 4" Table included.
QUINTEL Q4000 ist ein weichätzender, kontaktbasierter Maskenausrichter. Es wurde entwickelt, um präzise, leistungsstarke Lithographieverfahren für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, MEMS und anderen Mikroskalenkomponenten zu ermöglichen. Es wird auch für die Herstellung von anderen Nanostrukturen und nanoskaligen Geräten verwendet. Die Maschine besteht aus einer Abtaststufe, einer mechanischen Baugruppe, einer optischen Abbildungseinrichtung und Hilfsmitteln. Die Abtaststufe besteht aus zwei orthogonalen Bewegungsachsen, einer X-Achse und einer Y-Achse. Dadurch kann die Maske genau im optischen Blickfeld positioniert werden. Die mechanische Baugruppe wurde entwickelt, um optimale mechanische Toleranzen für Maßhaltigkeit, Ebenheit und Nivellierung der Masken zu gewährleisten. Dies ist wesentlich, um einen möglichst hohen lithographischen Durchsatz zu erreichen. Das optische Bildgebungssystem von QUINTEL Q 4000 bietet eine extrem hochauflösende Bildgebung mit einer Vergrößerung von bis zu 10X. Die eingebaute Brechungsoptik soll Aberrationen, Astigmatismus und Vignettierung minimieren, um eine sehr gleichmäßige Bildgebung über das gesamte Sichtfeld zu erreichen. Zu den Zusatzkomponenten des Maskenausrichters gehören ein Mikroskop, eine automatisierte Wafer-Handling-Einheit und prozessspezifische Module. Das Mikroskop bietet eine hervorragende Auflösung und Präzision für manuelle Ausrichtoperationen. Die automatisierte Wafer-Handling-Maschine ermöglicht eine gleichmäßige Bearbeitung mit minimalem Kontaminationsrisiko. Prozessspezifische Module können dem Werkzeug zur Anpassung der Maschine an die Anforderungen der speziellen Lithographieaufgabe hinzugefügt werden. Insgesamt ist Q-4000 ein fortschrittlicher Maskenausrichter für die Herstellung von Komponenten auf Waferebene, die eine präzise Lithographie erfordern. Es bietet eine hervorragende Auflösung, Ebenheit und maßgenaue Verarbeitung sowie automatisiertes Wafer-Handling und anpassbare prozessspezifische Module. Damit kann die Maschine hochwertige mikro- und nanoskalige Komponenten mit hohem Durchsatz und hoher Ausbeute herstellen.
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