Gebraucht QUINTEL Q8000 ML #9359010 zu verkaufen
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QUINTEL Q8000 ML ist ein automatisierter Maskenausrichter für den Einsatz bei der Herstellung integrierter Schaltungen. Es ist ein Werkzeug auf Produktionsebene, das verwendet wird, um Schaltungsmuster mittels Photolithographie genau auf einen Siliziumwafer zu übertragen. Q8000 ML verfügt über eine automatisierte Ausrichtungsoption, die eine präzise Ausrichtung des Schaltungsmusters auf dem Siliziumwafer ermöglicht. Das Tool bietet viele erweiterte Funktionen für komplex gestaltete Schaltungsmuster. Es verwendet Musterbild-, Ausrichtungs- und Belichtungssysteme, um kleine Funktionen genau zu produzieren. Es bietet auch eine hochpräzise 10nm Platzierungsgenauigkeit und eine Wafer-Stufenauflösung von 0,5 Mikron in der X- und Y-Achse. Auch QUINTEL Q8000 ML hat aufgrund seiner Parallelität bei Ausrichtungs- und Belichtungsprozessen einen hohen Durchsatz. Das Tool verwendet eine automatisierte Ausrichtung der Schlitzabtastung, die eine breite Palette von Ausrichtungsgenauigkeitsstufen bietet. Dieses System ermöglicht eine präzise Muster- und Overlay-Ausrichtung durch erweiterte Ausrichtungsalgorithmen. Darüber hinaus bietet die Mehrfachlaser-Wafer-Mapping-Einheit genaue Messungen zur Fehlausrichtung für eine verbesserte Belichtungsgenauigkeit. Q8000 ML verfügt über eine optimierte Strahlformungsmaschine, die effizient kleine Merkmale erzeugt. Es ist mit mehreren rechenoptischen Elementen ausgelegt, die für unterschiedliche Strahlenergien optimiert sind. Dies hilft, die Gesamtzeit für den Belichtungsprozess in jedem Lithographiezyklus zu reduzieren. Die optomechanische Konstruktion des Werkzeugs ist sehr zuverlässig. Es bietet einen vibrationsfreien Betrieb und wiederholbare Genauigkeit bei geringer Wartung und Benutzerfreundlichkeit. Darüber hinaus weisen mechanische Bauteile des Werkzeugs einen einstellbaren Bereich für präzise Ausrichtgenauigkeit auf. Insgesamt ist QUINTEL Q8000 ML ein Masken-Aligner auf Produktionsebene, der auf Präzision bei der Herstellung komplizierter integrierter Schaltungen ausgelegt ist. Das automatisierte Ausrichtwerkzeug für den Spaltscan, die Genauigkeit der Platzierung von 10 nm und die optimierte Strahlformung machen es zu einer zuverlässigen und produktiven Lösung für die Herstellung komplexer Designs.
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