Gebraucht RORZE RA410-812-101-1 #9384821 zu verkaufen

RORZE RA410-812-101-1 ist ein Masken-Aligner, der entworfen wurde, um präzise Muster und Strukturen auf Halbleiterscheiben zu ätzen. Es verwendet Licht, in der Regel UV-Licht, um ein Muster von einer Photomaske auf den Wafer in einem Prozess namens Photolithographie zu übertragen. Der Strahl in RA410-812-101-1 besteht aus ultravioletter Strahlung, in der Regel mit Wellenlängen von 365 bis 405 Nanometern. Typischerweise enthält der Masken-Aligner zwei Wafer-Stufen. Die erste ist die Transferstufe, die Maske und Wafer mittels Positioniercodierern genau bewegt. Die zweite ist die Belichtungsstufe, die aus der Lichtquelle, dem Maskenhalter, einer Lichtkollimationseinrichtung und der Projektionsoptik besteht. Der Maskenhalter hält die Fotomaske, die ein dichroitisches Glas mit einem in Chrom geätzten Muster ist. Die optische Projektionseinheit projiziert mit einer Kombination aus Linsen und Spiegeln das Maskenmuster auf die Waferoberfläche. RORZE RA410-812-101-1 ist auch mit einer Steuereinheit mit Touchscreen-LCD ausgestattet, die Echtzeit-Parameterinformationen wie thermische Drift, Bühnenausrichtung und Strahlausrichtung bereitstellt. Dieses Steuergerät umfasst auch eine Messstation. Diese Station enthält präzise Messgeber, um eine Verzerrung von Maske und Wafer während der Bewegung zu erkennen und zu kompensieren. RA410-812-101-1 enthält auch eine Präzisionstemperaturregelmaschine. Dies ist wichtig, da es dazu beiträgt, dass der Wafer während der Belichtung nicht thermisch gedehnt wird, da dies zu einer Verzerrung des Musters und einer Beschädigung des Wafers führen kann. Das Temperaturregelwerkzeug kann die Temperatur des Wafers innerhalb von ± 0,2 ° C halten. Die RA410-812-101-1can reduzieren die Belichtungszeit, minimieren die Montagezeit und zeigen Kantenverzerrungen, Verdunkelung und kritische Dimensionierung innerhalb der Maskentoleranzen mit hohem Durchsatz, Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Insgesamt ist RORZE RA410-812-101-1 mask aligner eine zuverlässige und präzise Maschine zum Ätzen von Mustern auf Halbleiterscheiben. Sein Design sorgt dafür, dass sich Masken und Wafer genau bewegen, Muster genau projiziert werden und die Temperatur konstant gehalten wird. Letztendlich liefert dieser Masken-Aligner die für die Herstellung fortgeschrittener Halbleiterbauelemente erforderliche Präzision.