Gebraucht SEMI DARIN SDMA-12SA #293760484 zu verkaufen
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ID: 293760484
Wafergröße: 8"-12"
Weinlese: 2023
Mask aligner, 8"-12"
Back Side Alignment (BSA)
Chiller
Vacuum chuck, 8"-12"
Mask holder, 8"-12"
Lamp house module:
LED Holder
(9) UV LED Light source modules
Wavelength: 365 nm
Intensity: 20 mW/cm²
Uniformity: ±4%
Top scale module:
Dual CCD Zoom
Dual X, Y, and Z Motorize
Objective spacing: 140-310
Back side module:
Dual CCD Motorize
Dual X, Y, and Z Motorize
Objective spacing: 140-270
Leveling stage module:
Auto leveling system
Manual X and Y Micrometer
Θ and Z-Axis motorizing
Z-Axis alignment gap: 20-200 µm
Temperature controller
Flow meter sensor
PC
Monitor
Data logging
Power supply
2023 vintage.
SEMI DARIN SDMA-12SA ist ein hochmoderner Masken-Aligner, der präzise und effiziente Photolithographie-Fähigkeiten für die Halbleiterindustrie bietet. Dieses fortschrittliche Tool wurde entwickelt, um hochauflösende Muster für Submikron-Funktionen zu liefern und ist somit ideal für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente und -komponenten geeignet. SDMA-12SA verfügt über eine robuste und stabile Plattform, die konsistente und zuverlässige Ausrichtungs- und Belichtungsprozesse gewährleistet. Das Gerät ist mit fortschrittlichen Ausrichtungstechnologien ausgestattet, einschließlich oberer und unterer Ausrichtung, automatisierter Ausrichtung und hochauflösenden CCD-Kameras, die eine genaue Ausrichtung von Masken und Substraten mit Submikronpräzision ermöglichen. Eines der Hauptmerkmale von SEMI DARIN SDMA-12SA ist seine hochintensive UV-Lichtquelle, die eine gleichmäßige und intensive Beleuchtung für die Belichtung von Photolackmaterialien bietet. Dies führt zu scharfen und klar definierten Mustern mit hoher Treue zum Maskendesign. Darüber hinaus bietet das System die Möglichkeit einer einstellbaren Belichtungsdosis und Belichtungszeit, sodass Anwender die Prozessparameter für verschiedene Photolackmaterialien und Substrattypen optimieren können. Zusätzlich zu seinen präzisen Ausrichtungs- und Belichtungsfunktionen ist SDMA-12SA mit fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen ausgestattet, die die Produktivität und Effizienz in der Produktionsumgebung verbessern. Das Gerät umfasst automatisierte Be- und Entlademechanismen sowie softwaregesteuerte Prozessabläufe für einen rationalisierten Betrieb. Diese Automatisierung reduziert manuelle Eingriffe und minimiert mögliche Fehler, was zu einem höheren Durchsatz und einer verbesserten Prozesswiederholbarkeit führt. SEMI DARIN SDMA-12SA ist auch mit Blick auf Flexibilität konzipiert, so dass Benutzer mit einer Vielzahl von Maskengrößen und -typen arbeiten können. Die Maschine unterstützt sowohl Standard-Photomasken als auch maßgeschneiderte Masken, so dass Benutzer komplexe und einzigartige Muster für eine breite Palette von Halbleiteranwendungen erstellen können. Das Tool bietet auch die Option für mehrere Belichtungsmodi, einschließlich Nähe, weichen Kontakt und harte Kontaktmodi, wodurch Benutzer die Flexibilität erhalten, die beste Belichtungsmethode für ihre spezifischen Anforderungen zu wählen. Darüber hinaus verfügt SDMA-12SA über erweiterte Softwaresteuerungs- und Überwachungsfunktionen, die es Anwendern ermöglichen, die Ausrichtungs- und Belichtungsprozesse in Echtzeit einfach zu programmieren und zu überwachen. Das Asset umfasst eine benutzerfreundliche Oberfläche, die eine intuitive Bedienung und Steuerung sowie umfassende Datenerfassungs- und Analysetools zur Prozessoptimierung und Qualitätskontrolle bietet. Gesamter HALB-DARIN SDMA-12SA ist eine vielseitige und zuverlässige Maske aligner, der Hochleistungsfotolithographiefähigkeiten für Halbleiter Produktionsanwendungen anbietet. Mit fortschrittlichen Ausrichtungs- und Belichtungstechnologien, automatisierten Funktionen, Flexibilität und benutzerfreundlicher Oberfläche ist das Modell ein wesentliches Werkzeug für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente mit komplizierten und präzisen Mustern. Sein robustes Design und seine hervorragende Leistung machen es zu einem wertvollen Kapital für Halbleiterherstellungsanlagen, die optimale Ergebnisse in ihren Herstellungsprozessen erzielen möchten.
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