Gebraucht SVG Micralign 600HT #9400549 zu verkaufen

SVG Micralign 600HT ist ein hochmoderner Maskenausrichter für photolithographische Prozesse. Es eignet sich hervorragend, um ein breites Anwendungsspektrum von minimalen Merkmalsgrößen von 1,2 μ m bis 200 μ m sowohl in Stufen- als auch in Wiederhol- und Vollfeldausrichtung abzudecken. Der Maskenausrichter besteht aus einer Prozesskammer, in der die Maske gehalten wird, und einer Waferstufe, in der die Wafer für die Belichtung platziert werden. Die Ausrichtung wird mit Hilfe eines Laser-Interferometers erreicht, das die Topographie eines Wafers erfasst, um die Position von Maske und Wafer so fein einzustellen, dass sie perfekt ausgerichtet sind. Micralign 600HT ermöglicht es Benutzern, aus einer Vielzahl von Beleuchtungsquellen und Vergrößerungen zu wählen, die Untermikron-Funktionsgrößen produzieren. Nicht nur dies, sondern SVG Micralign 600HT nutzt auch die Chuck Impuls Technologie, die Flüssigkeitsmaskenschäden beseitigt und den Durchsatz von bis zu 16,6 Wafern pro Stunde ermöglicht. Darüber hinaus verwendet die Maschine eine 200mm-Stufe anstelle einer 150mm-Stufe, so dass sie mehr Wafer aufnehmen und den Durchsatz weiter verbessern kann. Das Werkzeug ist mit einer proprietären VariThermal Process Control (VPTC) -Ausrüstung ausgestattet, die sicherstellt, dass Maske und Wafer während der Bearbeitung und Ausrichtung bei den richtigen Temperaturen bleiben. Dieses System bietet eine dynamische Temperaturregelung für eine optimale Wafer- und Maskentemperaturkompensation. Mit dieser Einheit können Prozesseinstellungen schnell und einfach angepasst werden, um verschiedenen Umgebungen und verschiedenen Maskenmaterialien gerecht zu werden. Darüber hinaus sorgt Micralign 600HT für eine extrem hohe Auflösung mit 33nm Subpixelausrichtungsgenauigkeit und einem Kettfehler von weniger als 1um. Dies macht es zu einem idealen Werkzeug für fortschrittliche IC- und BIOS-Technologien. Schließlich ist die Maschine mit einer sehr benutzerfreundlichen Softwaremaschine gekoppelt, die Bedienung und Wartung einfach und einfach macht, Ausfallzeiten reduziert und die Chipausbeute erhöht.