Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML 300 #40530 zu verkaufen

ID: 40530
Wafergröße: 4"
Projection Aligner, 4" Deinstalled.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 300 ist ein Masken-Aligner, der präzise Kontrolle über Substratmuster mit der Ausrichtungsgenauigkeit bietet, die für mikrostrukturelle Fertigungsprozesse erforderlich ist. Diese Maschine hat ein großes Steuerfeld von 352 mm (13.86 in.), und ihre Stufe kann genau in x-, y- und theta-Richtung bewegt werden. Mit seinen integrierten Ausrichtmarkierungssensoren können Benutzer leicht Marker im Substrat erkennen, die präzise Ausrichtungs- und Ausrichtungswiederholungen über mehrere Substrate ermöglichen. SVG 300 verfügt auch über eine digitale Projektionsanlage für Mikrofertigungsprozesse. Dieses System hat eine Auflösung von bis zu 0,25 μ m, so dass Benutzer das Muster der Substrate für Anwendungen im Submikron-Maßstab genau steuern können. Die digitale Projektionseinheit besteht aus digitalen Optik- und Ultra-Low-Distortion-Bildkomponenten, die hervorragende Bildqualität, hochauflösende Bildgebung, digitale Entzerrung und softwaregesteuerte Linsenkorrekturfunktionen bieten. Der Masken-Aligner verfügt auch über eine digitale Beleuchtung, die eine präzise Beleuchtungssteuerung bietet, die für verschiedene Substrattypen eingestellt werden kann. Darüber hinaus ist der Maskenausrichter mit einem fortschrittlichen Projektionsrohr ausgestattet, mit dem Benutzer kleine (bis zu 0,1 μ m) Muster mit hoher Genauigkeit verarbeiten können. ASML 300 verfügt auch über eine eingebaute Substratkassettenmaschine, mit der Benutzer Substrate schnell und einfach vom und zum Aligner übertragen können. Mit der eingebauten Lithographiestation können Anwender ihre Substrate schnell mit überlegener Homogenität und hoher Auflösungsgenauigkeit verarbeiten. Um den sicheren Betrieb von PERKIN ELMER 300 zu gewährleisten, ist das Werkzeug mit fortschrittlichen Sicherheitsmaßnahmen wie einem Inertgasgehäuse, Drucksensoren und einer automatischen Sicherheitsabdeckung ausgestattet, um die Optik vor äußeren Beschädigungen zu schützen und Gase zu erkennen, die Schäden an den Bestandskomponenten verursachen könnten. Zusammenfassend ist 300 ein leistungsstarker Maskenausrichter, der mit seinem großen Steuerfeld und dem digitalen Projektionsmodell eine kontrollierte Strukturierung von Substraten ermöglicht. Es verfügt auch über digitale Beleuchtung, eine fortschrittliche Projektionsröhre, eingebaute Substratkassettenausrüstung, Lithographiestation und Sicherheitsmaßnahmen, die es ermöglichen, die mikrostrukturellen Fertigungsprozesse mit überlegener Genauigkeit und Homogenität sicher zu bewältigen.
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