Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML 500 series #84336 zu verkaufen

SVG/PERKIN ELMER/ASML 500 Serie sind hochpräzise Maskenausrichter für Lithographieanwendungen in der Halbleiterverpackung und mikroelektronischen Geräteherstellung. Die Ausrichter sind in der Lage, die Belichtung von Photolack und anderen Materialien mit extrem hoher Präzision zu steuern, um die Übertragung der gewünschten Merkmale in vorbereitete Substrate zu erleichtern. Diese Photolithographie-Maschinen sind mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die speziell entwickelt wurden, um die Genauigkeit bei jeder Belichtung zu gewährleisten. Eine automatisierte Wafer-Be-/Entladeausrüstung sorgt dafür, dass Wafer schnell und sicher ausgerichtet und be-/entladen werden. Um die Genauigkeit zu gewährleisten, wird jede Waferplatzierung überprüft und eine digitale Bibliothek mit Waferbewegungen beibehalten, um Fehler zu vermeiden. Ein Waferausrichtungssystem scannt und verifiziert dann die Position jedes Wafers und anschließend die Belichtungslichtquelle, um das gewünschte Belichtungsmuster zu gewährleisten. Zusätzlich überwacht eine computergesteuerte Lebensdauerüberwachungseinheit die Leistung der Maschine und informiert den Anwender über alle Änderungen, die notwendig sind, um optimal effizient zu bleiben. Um das bestmögliche Ergebnis aus den Ausrichtern der Serie SVG 500 zu erzielen, müssen verschiedene Parameter gesteuert werden, wie die Position der Belichtungslichtquelle relativ zum Wafer, die Belichtungszeit und die zur Maximierung der Auflösung verwendeten Linsen. Die Belichtungswellenlänge ist auch einstellbar, mit einer Vielzahl von verfügbaren Wellenlängen einschließlich 248nm, 193nm und 365nm. Zusätzlich können optische Filter zur Einstellung der Intensität des von der Lichtquelle emittierten Lichts verwendet werden. Die Belichtungsmaschine kann so eingestellt werden, dass der Effekt der Oberflächenreflexion auf das Belichtungsmuster berücksichtigt wird. Um dies zu tun, wird eine optionale optische Faser verwendet, die an einem Projektionslinsenwerkzeug befestigt ist, um Reflexionen auf der Oberfläche des Materials zu beleuchten, um falsche Ausrichtungen zu verhindern und die Belichtungsgenauigkeit zu verbessern. Die Ausrichter der ASML 500-Serie verfügen über einfach zu bedienende und leistungsstarke Benutzeroberflächen, die eine schnelle Einrichtung und Programmierung der Maschine für jeden Einsatz ermöglichen. Benutzer sind auch in der Lage, die Maschineneinstellungen schnell an ihre Anwendungsanforderungen anzupassen. Zur Optimierung der Leistung des Maskenausrichters werden vom Asset mehrere Prozessdiagnosen wie Endpunkt- und Stellpositionskontrolle sowie eine Analyse des thermischen Profils des Wafers bereitgestellt. Darüber hinaus bietet das Modell die Rückverfolgbarkeit von Prozessen und ermöglicht die Erkennung von Fehlern, die während des Belichtungsprozesses auftreten können. Abschließend stellen Maskenausrichter der Serie 500 die Präzision, Geschwindigkeit und benutzerfreundliche Funktionen bereit, die erforderlich sind, um bei jedem Einsatz genaue und konsistente Belichtungen zu liefern.