Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML 554 HT #293645518 zu verkaufen

SVG/PERKIN ELMER/ASML 554 HT Maske Aligner ist eine Ausrüstung für photolithographische Anwendungen, wie z.B. bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es wird verwendet, um Muster von einer Maske auf ein Substrat zu übertragen. Das System bietet hohen Durchsatz und Präzision, so dass es für die Produktion von fortschrittlichen Halbleiterbauelementen mit hoher Musterreproduzierbarkeit und Genauigkeit geeignet ist. Die Einheit verfügt über eine Projektionsmaschine, die eine 5x Reduktions-Projektionslinse, Quarzlampe und Flachfeld-Kondensationslinsen umfasst. Die Quarzlampe sorgt für optimale Ausleuchtung und hohen Durchsatz, während die Projektionslinse ein hochauflösendes Bild bietet und feine Details genau anzeigt. Das Projektionsobjektiv hat eine N.A. von 0,55 und eine numerische Apertur von bis zu 0,45. Das Beleuchtungselement besteht ferner aus einer monochromatischen Laserquelle und einem Satz beugender optischer Elemente für verbesserte Auflösung und Kontrast. Das Werkzeug hat auch eine Schrittstufe mit einem Bereich von 0,7 bis 6,0 µm. Die absolute Stufengenauigkeit von 0,3 µm +/- 0,1 µm ermöglicht eine präzise Ausrichtung von gemusterten Masken und Substraten. Um wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten, wird der Stepper temperaturgeregelt und temperaturgeregelt. Die Bühne kann in einer manuellen oder automatisierten Umgebung betrieben werden. Zum Aligner Asset gehört neben dem Stepper auch eine X-Y-Stufe mit einem Scanbereich von bis zu 4 mm. Dies wird zum Überlagern mehrerer Substrate im gleichen Ausrichtungsmodell verwendet. Sowohl Schritt- als auch X-Y-Stufen sind mit Encodern zur Positionsmessung ausgestattet, die eine hochgenaue und wiederholbare Substratausrichtung ermöglichen. Das Gerät verfügt auch über einen automatisierten Maskenlader, um gemusterte oder Chrommasken oder Kontaktausrichtungsmasken einzuführen. Der Maskenteller ermöglicht einen höheren Durchsatz, indem mehrere Masken nebeneinander auf demselben Substrat positioniert werden. Dies kann schnell geschehen, da der Neiger eine 2,4-4 Grad-Stufe zur genauen Positionierung mehrerer Masken aufweist. SVG 554 HT Maske Aligner ist ein vielseitiges und fortschrittliches System für photolithographische Anwendungen. Das Gerät verfügt über hochauflösende Projektionsoptiken, genaue Schritt- und X-Y-Stufen und einen automatisierten Maskenlader. In Kombination mit einem hohen Durchsatz eignet sich diese Maschine gut für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente.