Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML 554 HT #9358414 zu verkaufen

SVG/PERKIN ELMER/ASML 554 HT ist ein hochmoderner Maskenausrichter für die optische Mikromontage. Das Ausrichtgerät verwendet eine Kombination aus Laserinterferometrie und digitalen Bildgebungstechnologien, um eine präzise Platzierung der Photomaske auf dem Substrat zu gewährleisten. Die Fotomaske wird durch ein Paar Linearmotoren, die die Winkelorientierung steuern, und eine hochpräzise XY-Stufe mit einer Wiederholbarkeit von 0,01 Mikrometern positioniert. Die Linearmotoren können auch synchronisiert werden, um eine präzise Overlay-Ausrichtung bei doppelseitiger Photomasken-Belichtung zu ermöglichen. Das System ist auch in der Lage, Überlagerung Ausrichtung Kompensation, für alle Dimensionsunterschiede zwischen der Photomaske und dem Substrat einzustellen. Die Belichtungsoptik des SVG 554 HT besteht aus einem Paar Laserbeleuchter und einer einstellbaren Koehler-Beleuchtungseinheit. Die Maschine verfügt über ein verzugsarmes optisches Werkzeug mit einer numerischen Öffnung von 0,40 und einer Feldgröße von bis zu 4,8 mm. Die Laserbeleuchter sind für Spitzenleistungen bis 36 mW/cm Laserleistung ausgelegt und die Koehler-Linse ist über verschiedene Arbeitsabstände einstellbar. Die Belichtungsoptik umfasst zusätzlich einen optionalen Retikelbeleuchter zur Abbildung von großformatigen Wafern. ASML 554 HT ist in der Lage, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 4 "zu verarbeiten, die mit einem Vakuumfutter oder einer manuellen Klemme montiert werden können. Die Anlage umfasst eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie eine physische Verriegelung und eine Sicherheitsabdeckung, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten. Zu den Merkmalen dieses hochmodernen Maskenausrichters gehören Hochgenauigkeit, Hochgeschwindigkeitspositionierung und Prozesskontrolle mit hohem Durchsatz. Mit seiner präzisen Optik und den hochpräzisen Bewegungssteuerungssystemen ist dieses Modell ideal für die Fotomasken-Ausrichtung und -Überlagerung in Anwendungen wie 3D-Wafer-Montage, Flip-Chip-Bonder-Ausrichtung und LCD-Belichtungs- und Belichtungsmesstechnik.