Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML 641 HT #9194296 zu verkaufen

SVG / PERKIN ELMER / ist ASML 641 HT ein hoher Durchfluss, Schritt-Elektronbalkenaussetzung scannend, der im Steindruckverfahren und der Maske aligner Operationen allgemein verwendet wird. Dieses automatisierte Gerät verwendet einen Stufen- und Wiederholungsalgorithmus, der eine präzise Ausrichtung von Mustern auf der Maske bei wiederholten Belichtungen auf demselben Substrat ermöglicht. SVG 641 HT verfügt über einen hochauflösenden Mustergenerator bestehend aus einer x-y linearen Stufe, einer x-Achsen-Drehstufe und einem Strahlablenker. Die x-y Linearstufe wird von einem Hochgeschwindigkeits-Servomotor angetrieben, der neben der Präzisionsmusterausrichtung einen hohen Durchsatz ermöglicht. Die x-Achsen-Drehstufe dient zur Änderung der Musterorientierung in der x-y-Ebene, so dass Ziele mit verschiedenen Ausrichtungen untergebracht werden können. Der Strahlablenker ist zur elektronischen Einstellung des Brennpunktes des Elektronenstrahls auf dem Substrat ausgelegt, wodurch eine genauere Musterpositionierung und Bilder mit höherer Auflösung ermöglicht werden. ASML 641 HT ist mit einem präzisen Laser-Interferometer-System ausgestattet, das eine genaue Musterausrichtung auf dem Substrat ermöglicht. Diese Einheit besteht aus drei Strahlen, die es dem Maskenausrichter ermöglichen, die relativen Abstände zwischen den Laserstrahlpunkten und der Rasterelektronenstrahlbelichtungsfläche zu messen, um die exakte Anordnung des Musters auf dem Substrat zu bestimmen. PERKIN ELMER 641 HT verfügt zudem über eine hochgenaue Abtastoptik, die eine genaue und wiederholbare Ausrichtung des Musters auf dem Substrat ermöglicht. Diese Maschine verwendet zwei Galvanometer-Scanner, die konfiguriert sind, um einen Elektronenstrahl in zwei senkrechten Achsen abzutasten. Diese Scanner arbeiten synchron über die Oberfläche, was eine präzise Steuerung der vom Werkzeug erfassten Daten ermöglicht. Darüber hinaus umfasst 641 HT einen On-Board-Controller, der den automatisierten Betrieb des Assets ermöglicht. Dieser Regler ermöglicht die elektronische Steuerung der verschiedenen Modellparameter wie die Strahlablenkposition, Belichtungszeit, Spannungen und Ströme und viele andere. Der Controller ermöglicht auch die Musterprogrammierung und Echtzeitsteuerung der Geräte, mit denen schnell auf wechselnde Bedingungen im Labor reagiert werden kann. Schließlich SVG / PERKIN ELMER / ASML 641 HT ist ein hoher Durchfluss, Elektronbalkenaussetzung Schritt-verwendet im Steindruckverfahren und der Maske aligner Operationen scannend. Dieses automatisierte System verwendet einen Schritt- und Wiederholungsalgorithmus, der eine präzise Ausrichtung von Mustern auf der Maske bei wiederholten Belichtungen auf demselben Substrat ermöglicht. Es integriert verschiedene Funktionen wie eine präzise Laser-Interferometer-Einheit, eine hochgenaue Abtastoptik und eine On-Board-Steuerung, die den automatischen Betrieb der Maschine ermöglicht. SVG 641 HT ist eine ausgezeichnete Wahl für Lithographie und Masken-Aligner Arbeit.