Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML 651HT #9165928 zu verkaufen

ID: 9165928
Wafergröße: 5"
Mask aligner, 5" Process: Litho.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 651HT ist ein Masken-Aligner, eine Maschine, die verwendet wird, um integrierte Schaltungen herzustellen und in Komponenten einzubauen, mit denen es in Kontakt kommt. Es ist ein wichtiges Werkzeug für die Herstellung spezialisierter Computerchips oder anderer Halbleiterprodukte und wird verwendet, um lithographische Muster von einer Maske auf ein Substrat zu übertragen. SVG 651HT kombiniert mehrere Bilderfassungs-, Wafer-Scanning- und Prozesssteuerungssysteme, um strukturierte Resists präzise auf einem Wafer zu platzieren. Es bietet einen fortschrittlichen, High-End-Masken-Aligner, der in mehreren Konfigurationen auf der Grundlage der Bedürfnisse des Benutzers zur Verfügung steht. ASML 651 HT nutzt die neueste Bildgebungs- und Mustertechnologie. Es ist sowohl zur optischen als auch zur Elektronenstrahlmusterung in der Lage, die für Hochdurchsatzkontakt und Näherungsdruck verwendet werden kann. ASML 651HT bietet zwei präzise Waferstufen für Wiederholbarkeit und Genauigkeit und kann verwendet werden, um Schichten mit sehr genauer Ausrichtung auf den Wafer zu drucken. Seine Präzision hilft auch bei der Herstellung komplexer 3-dimensionaler Produkte. SVG 651 HT verfügt über eine Vakuum- und Entladestation, eine motorisierte optomechanische Stufe und Luftlagerstufen, eine adaptive Fokussiereinrichtung, eine Scan-Kamera, ein Elektronenstrahl-Lithographiewerkzeug, ein Förderband und eine Vielzahl von Stützsystemen. Alle Komponenten sind in einer speziell entwickelten Umgebung eingeschlossen. PERKIN ELMER 651HT ist mit automatisierten Steuerungssystemen und anspruchsvollen Software-Algorithmen für Mustererstellung, Ausrichtung, Bildgebung und Druck ausgestattet. Die Software ermöglicht es dem Designer, das Maskenlayout und die Position zu programmieren, um das Beste aus den Fähigkeiten der Maschine zu machen. Es bietet auch eine Vielzahl von Funktionen wie CAD-Musterimport, Molekularstrahlpumpen für verbesserte Präzision und digital gesteuerte Musterdrehungen. 651 HT ist für eine äußerst zuverlässige Produktions- und Prozesssteuerung und die Steifigkeit der Halbleiterproduktion ausgelegt. Es bietet auch sehr hochauflösende Bildgebungsfunktionen für Anwendungen in der Nanotechnologie. Das System verfügt über präventive Wartungsfunktionen, um die Lebensdauer der Einheit zu verlängern und außerplanmäßige Wartungsanforderungen zu reduzieren. Die Maschine ist auch für die vollständige Benutzereinhaltung konzipiert und bietet eine vollständige Rückverfolgbarkeit des gesamten Maskierungsprozesses. Der SVFPERKIN ELMER 651 HT ist ein leistungsstarker Maskenausrichter, der höchste Präzision in der Lithographie bietet. Mit seinem robusten Design und automatisierten Steuerungssystemen können 651HT hochkomplexe Bauteile mit hervorragenden Ausbeuten herstellen.
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