Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML 651HT #9259118 zu verkaufen

ID: 9259118
Mask aligner.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 651HT Mask Aligner ist ein fortschrittliches Rapid-Prototyping-Tool, das in der Maskenherstellung und der Montage von Lithographie zur optischen Ausrichtung verwendet wird. Ein Masken-Aligner ist ein Direktschreibgerät vom Scan-Typ, das in Halbleiter- und verwandten Industriezweigen zur Modifizierung von Dünnschichtbauelementen wie Photowiderständen, Dünnschichttransistor (TFT) -Arrays und Kondensatoren verwendet wird. SVG 651HT ist für die Submicron-Verarbeitung konzipiert und kann sowohl Planarisierung/geometrische Ausrichtung und Ausrichtung Drift und Verzug Kompensationen genau durchführen. ASML 651 HT Maske Aligner besteht aus vier großen Teilsystemen; die optische Ausrüstung, das Scansystem, die Ausrichteinheit und die Projektions-/Lithographiemaschine. Das optische Werkzeug besteht aus einem exquisiten gezoomten Objektiv (Fokussierung von 0,150 mm bis 0,34 mm) und einem Satz von vier motorisierten Spiegeln für hochpräzises Scannen und Projektion. Das Scan-Asset basiert auf einem Piezo-Stufenspiegel sowie einem Drehspiegel zur dreidimensionalen Ausrichtung und liefert das Bildfeld der benötigten Größe mit Umlenkwinkeln bis 90 °. Das Ausrichtungsmodell verwendet eine hochgenaue automatische Zentrierstufe mit manueller Einstellung und einen Schrittmotor für eine schnelle und genaue Ausrichtung. Die Projektions-/Lithographieausrüstung von SVG/PERKIN ELMER/ASML 651 HT besteht aus einem aktiven Beleuchter für 700nm bis 830nm Beleuchtung und einem Dämpfer/Glatter, der die Gleichmäßigkeit der Lichtintensität und ihre Homogenität beibehält. Das Mikrolithographiesystem ist auch in der Lage, Winkelausrichtung und Feldwinkel bis 350 Mikrometer. Es ist kompakt und benötigt nur 80x80 cm Platz. ASML 651HT ist einfach zu installieren und kann mit verschiedenen Prozessumgebungen zur Automatisierung verbunden werden. Das Tool kommt mit einem eigenen eingebauten PC und läuft eine Windows-basierte Software für die Steuerung des Projektors/Maske Aligner. Seine umfassende grafische Benutzeroberfläche (GUI) macht die Einrichtung und den Betrieb des Tools zum Kinderspiel. 651HT ist mit einer Vielzahl von erweiterten Funktionen wie Multi-Field Octagon Scan, Backdraw Länge, schnelle Ausrichtung Routine, Prozessoptimierung und automatische Strahlpositionskorrektur ausgestattet. Abschließend ist SVG 651 HT Mask Aligner aufgrund seiner präzisen und genauen Leistung ein beispielhaftes Werkzeug für die Maskenherstellung und Montage von Lithographie zur optischen Ausrichtung. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, die eine einfache und benutzerfreundliche Bedienung ermöglichen, ist es sowohl für Forschung als auch für Produktionsebene Halbleiter geeignet.
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