Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML 651HT #9259119 zu verkaufen

SVG/PERKIN ELMER/ASML 651HT ist ein Mikrolithographie-Musterwerkzeug, das häufig bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist ein fortschrittliches High-End-Tool mit Bewegungssteuerungsgenauigkeit und Geschwindigkeit, das höhere Auflösungsfunktionen und eine engere Platzierung der Funktionen ermöglicht. SVG 651HT ist in der Lage, eine breite Palette von Belichtungseigenschaften zur Verfügung zu stellen, so dass Designer kürzere Belichtungswellenlängen für kleinere Merkmalsgrößen und höhere Leistung verwenden können. ASML 651 HT verfügt über eine hochpräzise Bühnenplattform zur Platzierung und Bewegung von Wafern mit einem maximalen Stufenweg von 4500mm. Darüber hinaus verfügt PERKIN ELMER 651 HT über eine integrierte, piezo-gesteuerte Focus Control Equipment (FCS) zur Optimierung der Belichtungsgleichmäßigkeit. Das FCS stellt sicher, dass alle Teile der Ausrichtungsmarken oder Muster während des gesamten Belichtungsprozesses im Fokus bleiben. 651 HT nutzt 2,4MHz Laser Pattern Generation (LPG) Technologie mit fortschrittlicher Scan-Unterstützung für hohe Geschwindigkeit und wiederholbare Musterung. Das System verfügt auch über eine Zoom Optics Unit (ZOS), die eine sehr hohe Genauigkeit und Kontrolle über den Belichtungsprozess bietet. Zusätzlich zu den oben genannten Merkmalen bietet ASML 651HT weitere Funktionen zur Unterstützung fortschrittlicher Halbleiterprozesse. Dazu gehören ein Subsystem für die vollständige Ausrichtung, ein DFS-Subsystem (Dry Film Striper) für die Entwicklung nach der Belichtung, eine hochpräzise Mask EDGE Adjustment Machine (MEAS) für die Platzierung und Rotationsoptimierung und ein Autofokus Optimization Tool (AOS). 651HT ist auf einfache Wartung und Zuverlässigkeit ausgelegt. Es verfügt über eine integrierte Prozessdiagnose, ein integriertes Kalibrierwerkzeug zur Gewährleistung genauer Ergebnisse und eine Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle für optimierte Ausrichtungs- und Druckgenauigkeit. Darüber hinaus ermöglicht die offene Architektur einfache Updates für neue Maskentypen. Zusammenfassend ist SVG 651 HT ein vielseitiges Tool, das erweiterte Funktionen für die Präzisionswaferbearbeitung bietet. Es wurde entwickelt, um zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse in einer Vielzahl von Anwendungen zu bieten. SVG/PERKIN ELMER/ASML 651 HT ist mit seiner hochpräzisen Bühnenplattform, dem eingebauten Focus Control Model, 2,4MHz Laser Pattern Generation-Technologie und anderen Funktionen, die fortschrittliche Halbleiterprozesse unterstützen, eine ideale Wahl für die High-End-Halbleiterproduktion.