Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 HT #293765674 zu verkaufen
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ID: 293765674
Wafergröße: 6"
Mask aligner, 6"
Loadlock cassette type: M500/600
No SMIF
Cassette stage: 150 mm
Wafer mapping
Optical sensor
Blower
OS-2000 Controller
Air cooler: 39,000 BTU
Wafer fluoroware cassettes: 150 mm
Electronic motorized carousel arm
Pellicle protection mask cassette system
Cassette and carrier round mask: 7.25"
Life mask X, Wafer X and Pre-aligner anchor flexures
Optical:
High-Throughput coated optics (HT)
UV4 Filter and narrow band secondary
Integrated uniformity tester
Automated Uniformity Testing (AUDIT)
Focus / Viewing / Mag:
Air guage focus system
Extented life gauge head flexure
Automatic Variable Magnification (AVM)
Brightfield and darkfield viewing
Gas scan
Power supply: 220 VAC, 3 Phase.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT ist ein hochpräziser Masken-Aligner für IC-Lithographieanwendungen. Dieser erweiterte Maskenausrichter verfügt über eine erweiterte Ausrichtungsarchitektur mit einer Genauigkeit von 1,2 μ m. SVG 661 HT verfügt auch über eine ultrahochauflösende optische Ausrüstung mit einer Mindestfleckgröße von 12 μ m. Darüber hinaus verfügt ASML 661 HT über eine breite Palette von bildgebenden Funktionen, darunter 4x Binning, Defokussteuerung und ein Mehrfachbeleuchtungssystem. Diese Abbildungsfunktionen ermöglichen eine schnelle und präzise Ausrichtung von IC-Masken in der Halbleiterverarbeitung. 661 HT verwendet ein integriertes Design mit vier Punkten und hoher Präzision, das genaue und wiederholbare Ausrichtungen gewährleistet. Dieses Design umfasst auch Autofokus und mehrstufige Scan- und Stichfunktionen, die zur Automatisierung des Maskenausrichtungsprozesses beitragen. PERKIN ELMER 661 HT bietet zudem leistungsstarke Bildverarbeitungsfunktionen wie Binarisierung, Kontrastverbesserung und Kantenschärfung. Diese Funktionen ermöglichen eine weitere Optimierung der Bildqualität und Ausrichtungsgenauigkeit. SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT ist auch mit einer High-Speed und Low Drift SSMB (Scanning Stage Movement Block) mechanische Stufe für präzise Substrat Ausrichtung ausgestattet. Diese Stufe wird von einem bürstenlosen Motor angetrieben und hat eine maximale Schrittauflösung von 0,1 μ m. SVG 661 HT verfügt zudem über eine Hochleistungsbeleuchtungseinheit mit variabler Laserausgangsleistung und einstellbaren Laserparametern. Diese Maschine ermöglicht es Benutzern, die Belichtungszeit zu reduzieren und die Gleichmäßigkeit der Belichtung des Substrats zu erhöhen. Zur weiteren Verbesserung der Vielseitigkeit von ASML 661 HT ist das Tool mit einem optionalen icontrol-Softwarepaket ausgestattet. Dieses Programm ermöglicht die Steuerung von 661 HT 's Funktionen und seine vielen Ausrichtungsfunktionen. Die icontrol-Software bietet auch grafische Werkzeuge für die Ausrichtung und Bildgebung. Die hervorragenden Eigenschaften von PERKIN ELMER 661 HT, gepaart mit seiner hervorragenden Präzision und Fähigkeit, machen es zu einem idealen Werkzeug für fortschrittliche IC-Lithographieanwendungen.
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